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卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)OTF-1200X-III-RR

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產品簡介

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產品概述：

OTF-1200X-III-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)，設備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200℃三溫區(qū)管式爐、真空機組3部分組成。此設備可用于。

大面積、高質量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長。

工作電源：AC220V，50/60Hz ? 功率：5 KW ? 加熱元件：電阻絲 ? 溫度：1200℃ (使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發(fā)生形變)（< 1h） ? 長期使用溫度：1100℃ ? 推薦升溫速率:≤ 10℃ /min ? 爐管：高純石英管：φ100*1400mm ? 總加熱區(qū)長度：600mm（150+300+150mm） ? PID控溫，具有超溫及斷偶保護 ? 控溫精度：±1℃
500W等離子源（選配）	? 輸出功率：50-500W可調±1% ? RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% ? 噪聲：≤ 55DB ? 冷卻：風冷 ? 輸入功率：1KW AC 220V
三路質子流量計控制系統(tǒng)（選配）	? 電壓：AC220V/50Hz ? 功率：23W ? PLC觸摸屏控制 ? 混氣罐尺寸：φ80*120mm ? 工作溫度：5~45 oC ? 壓力: 3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. ? 重復精度: ±0.2%F.S. ? 流量范圍: 一路: 1~50 SCCM （甲烷標定）二路: 1~200 SCCM （氫氣標定）三路: 1~200 SCCM （氬氣標定）
真空測量單元	? 型號：PGC-554-LD ? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度：5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
低真空機組（選配）	? 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成 ? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ? 極限真空度10-1Pa ? 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa
卷對卷銅箔收放密封裝置	? 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調； ? 配置一卷約2公斤重的銅箔，銅箔寬度：80mm，銅箔厚度0.025mm； ? 收放卷機構分別放置于管式爐兩端真空腔體內，保證銅箔可在密封生長條件下進行運動，實現(xiàn)大規(guī)模制備。 ? 真空腔室極限真空度 < 5*10-2ttor（冷態(tài)下，機械泵抽20分鐘）
產品認證	? 電器元件電壓>24V的，可選擇通過UL認證
產品尺寸	? 24006001400mm
產品重量	? 400 kg
質保期	? 一年保質期，終生維護