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溫控型真空感應(yīng)熔煉爐系列

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：SP-50KT//SP-85KTC產(chǎn)品概述：溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，帶進(jìn)料前級(jí)系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置

詳細(xì)介紹

型號(hào)：SP-50KT // SP-85KTC

產(chǎn)品概述：溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，帶進(jìn)料前級(jí)系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級(jí)腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi)，而不影響主腔室的環(huán)境。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

名稱

溫控型真空感應(yīng)加熱爐系列

視頻

操作視頻

型號(hào)

SP-50KT	SP-85KTC

感應(yīng)電源

·工作電壓：380V，50Hz，三相

·空氣開關(guān)：需要100A空氣開關(guān)

·輸入功率: 15KW

·輸出頻率:30-80kHz

·保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)

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溫控系統(tǒng)和熱電偶

·精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式

·可設(shè)置30段升降溫程序

·帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

·控溫精度：±5 oC

·熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL )

·連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC

·溫度：2000oC（<30min）

·升溫速率:

1度/秒 1000-1200oC；

1度/2秒 1200oC-1500oC ；

1度/4秒 1500oC-2000oC

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石墨坩堝，耐火材料和防護(hù)罩

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·高純石墨坩堝:50mm(內(nèi)徑) * 40mm(外徑) *110mm（深）,坩堝是用來(lái)感應(yīng)加熱和熔化金屬

·容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2

·可熔煉物料的質(zhì)量：最多0.6Kg（按純鐵的密度計(jì)算）

·可選:為對(duì)晶片熱處理，可定制石墨樣品臺(tái)，可放置晶片尺寸為1.5''O.D * 1/8''T，因?yàn)槭珜?dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻

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·保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）

·注意: 石墨坩堝是易耗件

·高純石墨坩堝:114mm（內(nèi)徑） * 100mm（外徑） *142mm（深），坩堝是用來(lái)感應(yīng)加熱和熔化金屬

·容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2

·可熔煉物料的質(zhì)量：最多4Kg（按純鐵的密度計(jì)算）

·注意: 石墨坩堝是易耗件

密封法蘭和石英腔體

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·兩端開口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L)

·頂部法蘭: 采用不銹鋼鉸鏈法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過(guò)波紋管與真空泵相連接

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接

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·兩端開口的石英管尺寸： 216?mm(OD)?*?208?mm(ID)?*?500mm(L)

·頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過(guò)波紋管與真空泵相連接

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接

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真空計(jì)

·防腐真空計(jì),測(cè)量范圍3.8*10E-5托

·一個(gè)輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。

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浮子流量計(jì)

緊湊型直讀浮子流量計(jì)，100-1000scc/min。精度:4%。

泄壓閥

為了安全考慮，在腔體內(nèi)安裝泄壓閥，當(dāng)壓力大于0.02MPa時(shí)，閥門會(huì)自動(dòng)釋放壓力，保證安全。

循環(huán)水冷機(jī)（可選）

·溫度范圍：5～30℃

·水流量：16L/min

·水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L。

注意：建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗(yàn)后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F(xiàn)象

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真空泵（可選）

·標(biāo)配一個(gè)2.2L/s的雙級(jí)旋葉片真空泵

·電壓：AC 208-240V 50Hz,單相

·功率：0.4KW

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另有多種真空泵，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊下圖選擇

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產(chǎn)品尺寸

整體機(jī)器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）

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凈重

100Kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應(yīng)圈等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

認(rèn)證

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如果客戶需要通過(guò)MET認(rèn)證，需自行支付認(rèn)證費(fèi)用，具體價(jià)格請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表。

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)包括:1)感應(yīng)加熱器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水機(jī)組:UL61010 & UL1995

注意事項(xiàng)

·為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM

·C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)

·熔融時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品，請(qǐng)聯(lián)系我們的工程師咨詢

·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi

·必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運(yùn)行。點(diǎn)擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝

·當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí)，不要加熱爐子。在加熱過(guò)程中，必須使用壓力表來(lái)密切監(jiān)測(cè)室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過(guò)3psi，請(qǐng)立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預(yù)見的損壞

應(yīng)用

·PVT(物理蒸氣運(yùn)輸)系統(tǒng)通過(guò)改變一個(gè)合適的坩堝，使其能夠成為生長(zhǎng)長(zhǎng)型碳化硅晶體，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片或問(wèn)我們的工程師如何

·此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們

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