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合肥科晶材料技術有限公司


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1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

聯(lián)系方式:劉蕓查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-04-01 12:40:09瀏覽次數:164次

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經營模式:其他

商鋪產品:23條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:劉蕓

產品簡介

型號: OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 產品概述: OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強雙溫區(qū)回轉爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質子流量計控制系統(tǒng)......

詳細介紹

設備名稱

? 1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE (2019.11.27—科晶實驗室審核)

產品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示


展示

1.gif

        30ml粉料

產品特點

? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

? 4通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調控;

? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。  


工作電源

? 輸入電壓:AC208-220V,50/60Hz

? 總功率:<>


加熱爐參數

? 溫度:1100℃(<>

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 工作電壓:110V;

? 額定功率:1.5KW;

? 回轉爐旋轉速度:0-5 rpm。

 OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1.png




更多參數請聯(lián)系科晶銷售部


射頻電源

? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。


300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg500W射頻電源.jpg100W射頻電源.png


真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達10-2Torr。

 真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質子流量計控制系統(tǒng)可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

 四通道質子圖1.jpg  四路質子圖2.png


循環(huán)水冷機

? 標配KJ-5000循環(huán)水冷機,水流速率:16L/min

 水冷機.jpg

產品尺寸和重量

? 尺寸:1400mm L′600mm W′1240mm H

? 凈重:90 kg 

 產品尺寸.jpg


認證

? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證

 認證.png


承諾

? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)



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