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真空等離子清洗機(jī)SPV-240

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、簡(jiǎn)介1.1概要真空等離子清洗機(jī)(Plasmacleaner)，氣體通過(guò)激勵(lì)電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能

詳細(xì)介紹

一、簡(jiǎn)介

1.1 概要

真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)，氣體通過(guò)激勵(lì)電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。

1.2 產(chǎn)品特點(diǎn)

u 產(chǎn)品放置治具靈活多變，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品

u 水平電極設(shè)計(jì)，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。

u 低耗能、耗氣產(chǎn)品。

u 便捷的收放板方式

u 真空系統(tǒng)集成，占地面積小

u 合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻

u 集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使操作更方便

1.3行業(yè)應(yīng)用

u 手機(jī)行業(yè)：TP、中框、后蓋表面清洗活化

u PCB/FPC行業(yè)：孔內(nèi)鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔

u 半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理

u 陶瓷：封裝、點(diǎn)膠前處理

u 表面粗化蝕刻：PI表面粗化、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除、ITO膜蝕刻

u 塑膠材料：Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化

u ITO涂覆前表面清洗

二、技術(shù)規(guī)格

2.1設(shè)備規(guī)格

電源系統(tǒng)		射頻電源	中頻電源
	功率	0~1000W	0~2000W
	頻率	13.56MHz	40KHz
真空系統(tǒng)	泵組	羅茨泵+單級(jí)旋片泵
	真空管路	全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管
	材質(zhì)	鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
	厚度	25mm
	密封性	級(jí)焊接密封
	腔體內(nèi)部尺寸	590（W）600(D)660(H)mm
	電極板有效尺寸	575×510mm（寬×深）
	可用空間間距	34mm
	電極板布置方式	水平布置，可活動(dòng)抽取
	工作托盤	標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)）
	工作空間	8層
氣體系統(tǒng)	流量范圍	0~300SCCM
	工藝氣體氣路	標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、四氟化碳?/span>
控制系統(tǒng)	系統(tǒng)控制	PLC
	交付方式	7寸觸控屏幕
其它參數(shù)	外形尺寸	1050×1750×1050mm（寬×高×深）
	重量	350KG
	設(shè)備外觀顏色	銀灰色

2.2廠務(wù)規(guī)格要求

廠務(wù)規(guī)格要求
交流電源規(guī)格	電源：AC380V，50/60Hz，5線，30A
廠務(wù)排氣	流量：2.0 m3/min
廠務(wù)工作氣體要求	流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管純度：99.99%以上
廠務(wù)壓縮空氣要求	流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：8×5 mm 材質(zhì)：PU管露點(diǎn)：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3

2.3 一般規(guī)格

一般規(guī)格
危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)	高壓危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)
使用環(huán)境	溫度：15~30℃ 濕度：30~70%
其他注意事項(xiàng)	不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應(yīng)性粉塵氣瓶需固定