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HPC1100高壓控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品名稱：高壓控制器brbr產(chǎn)品型號(hào)：HPC1100brbr品牌：LIGHTHOUSE美國(guó)萊特浩斯brbr采樣流量：28．3L/minbrbr粒徑范圍：0.1μm 或更大brbr流速：1.0 CFMbrbr輸出壓力：接近大氣壓brbr輸入壓力：30-150 psibrbr尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cmbrbrbr

詳細(xì)介紹

商品名稱: HPC1100高壓控制器
商品編號(hào): HPC1100

產(chǎn)品名稱：高壓控制器

產(chǎn)品型號(hào)：HPC1100

品牌：LIGHTHOUSE美國(guó)萊特浩斯

采樣流量：28．3L/min

粒徑范圍：0.1μm 或更大

流速：1.0 CFM

輸出壓力：接近大氣壓

輸入壓力：30-150 psi

尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm

HPC1100高壓控制器

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品名稱：高壓控制器
產(chǎn)品型號(hào)：HPC1100
品牌：LIGHTHOUSE美國(guó)萊特浩斯
采樣流量：28．3L/min
粒徑范圍：0.1μm 或更大
流速：1.0 CFM
輸出壓力：接近大氣壓
輸入壓力：30-150 psi
尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm

設(shè)計(jì)采用了新技術(shù)，在高壓氣體成分，HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高壓（30-150 psi）的惰性氣體系統(tǒng)提供工藝氣體污染的監(jiān)測(cè)能力。

HPC 1100的不銹鋼設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用，可靠，幾乎不需要日常維護(hù)和校準(zhǔn)。在正常操作過程中，惰性氣體可被回收采樣過程中使用100％的供氣。

產(chǎn)品特色

特征

優(yōu)點(diǎn)

應(yīng)用

可用于任何惰性氣體
輕松設(shè)置
安裝簡(jiǎn)單
前置流計(jì)
直觀的用戶控制
安靜的操作
快速清除和清理
VCR接頭內(nèi)部和外部
不銹鋼結(jié)構(gòu)

在正常操作過程中的零氣體廢物
近常壓輸出
低噪聲
小尺寸
便于系統(tǒng)集成
2年保修的
較低的擁有成本

工藝鑒定
半導(dǎo)體制程監(jiān)控
平板過程監(jiān)控
過程趨勢(shì)分析

主要技術(shù)參數(shù)及性能：
粒徑范圍	0.1μm 或更大
流速	1.0 CFM
輸出壓力	接近大氣壓
輸入壓力	30-150 psi
兼容氣體	氮，氬氣，氦氣
運(yùn)行噪音	<60 db
外殼	不銹鋼
材質(zhì)	316L 不銹鋼
尺寸	5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
重量	6 lbs (2.7 kg)
隨機(jī)配件	采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽；套圈
可選件	備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)