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八帆儀器設(shè)備有限公司
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更新時間：2024-02-18 13:04:16瀏覽次數(shù)：234次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線納米壓印機PL-T
納米壓印機PL-T
納米壓印機的基本思想是通過模版，將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形。整個過程包括壓印和圖形轉(zhuǎn)移兩個過程。根據(jù)壓印方法的不同，NIL主要可分為熱塑（Hot embossing）、紫外固化UV和微接觸（Micro contact printing， uCP）三種光刻技術(shù)。
主要功能
納米壓印機的主要功能是將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形。壓印技術(shù)主要分為以下兩種：
熱壓：首先在襯底上涂上一層薄層熱塑形高分子材料（如PMMA）。升溫并達到此熱塑性材料的玻璃化溫度Tg（Glass transistion temperature）之上。熱塑性材料在高彈態(tài)下，將具有納米尺度的模具壓在上面，并施加適當?shù)膲毫?，熱塑性材料會填充模具中的空腔，模壓過程結(jié)束后，溫度降低使熱塑性材料固化，從而得到與模具的重合的圖形。隨后移去模具，并進行各相異性刻蝕去除殘留的聚合物。接下來進行圖形轉(zhuǎn)移。圖形轉(zhuǎn)移可以采用刻蝕或者剝離的方法。刻蝕技術(shù)以熱塑性材料為掩膜，對其下面的襯底進行各向異性刻蝕，從而得到相應(yīng)的圖形。剝離工藝先在表面鍍一層金屬，然后用有機溶劑溶解掉聚合物，隨之熱塑性材料上的金屬也將被剝離，從而在襯底上有金屬作為掩膜，隨后再進行刻蝕得到圖形。
紫外壓?。簽榱烁纳茻釅河≈袩嶙冃蔚娜秉c，特克薩斯大學的C. G. willson和S. v. Sreenivasan開發(fā)出步進-閃光壓印（Step- Flash Imprint Lithography），這種工藝中采用對紫外透明的石英玻璃（硬模）或PDMS（軟模），光阻膠采用低粘度，光固化的單體溶液。先將低粘度的單體溶液滴在要壓印的襯底上，結(jié)合微電子工藝，薄膜的淀積可以采用旋膠覆蓋的方法，用很低的壓力將模版壓到晶圓上，使液態(tài)分散開并填充模版中的空腔。透過模具的紫外曝光促使壓印區(qū)域的聚合物發(fā)生聚合和固化成型。后刻蝕殘留層和進行圖形轉(zhuǎn)移，得到高深寬比的結(jié)構(gòu)。后的脫模和圖形轉(zhuǎn)移過程同熱壓工藝類似。
技術(shù)能力
該設(shè)備的發(fā)明人2001年至 2003 年，在納米壓印技術(shù)發(fā)明人、 美國普林斯頓大學 StephenY.Chou 教授的納米結(jié)構(gòu)實驗室作為研究助理進行了為期 3 年的研究工作，發(fā)展了紫外光固化納米壓印工藝與材料，對納米壓印技術(shù)的發(fā)展做出了重要的貢獻。2004 年加入材料科學與工程系后繼續(xù)圍繞納米微加工技術(shù)與納米壓印技術(shù)開展研究工作，研發(fā)了數(shù)種新型納米壓印材料，發(fā)展了新型高分子壓印模板，提出了曲面納米壓印技術(shù)；利用 863 課題“紫外光固化和熱壓兩用納米壓印設(shè)備的研制與應(yīng)用"項目的支持，研制成功具有紫外光固化和熱壓功能兩用納米壓印設(shè)備，現(xiàn)已成為產(chǎn)品，并被南京大學、北京航空航天大學、國防科技大學、黑龍江大學、中科院深圳研究院等多家高校和科研機構(gòu)所采用，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的納米壓印核心技術(shù)，技術(shù)水準與當前國際該領(lǐng)域水平同步。
技術(shù)參數(shù)
| 機器名稱 | 納米壓印機（氣壓式） | |
| 型號 | PL-T-75 | PL-T-100 |
| 壓印樣品尺寸 | 3英寸 | 4英寸 |
| 固化方式 | 熱固化 | 熱固化、紫外固化 |
| 紫外光源 | ——— | LEDUV固化燈 |
| 主波長 | ——— | 365nm |
| 尺寸規(guī)格 | 400mm（L）*500mm(W)*800mm(G) | |
| 重量 | 100 KG | |
| 電源電壓 | 220V，50Hz | |
| 總功率 | 2.0KW | |
| 極限真空度 | -95kPa | |
| 壓強 | 1.0MPa | |
| 加熱方式 | 220V，500W電熱絲 | |
| 冷卻方式 | 流動空氣冷卻 | |
| 溫控范圍 | 室溫-250℃ | |
| 光源功率 | 250W | |
| 控制系統(tǒng) | 西門子PLC及觸摸屏 | |
| 工作環(huán)境 | 超凈間、溫度0-38℃ | |
| 機器噪聲 | ≤50dB | |
| 機器表面外觀 | 噴漆 | |
應(yīng)用
納米壓印技術(shù)是目前納米溝道加工的主要技術(shù)。傳統(tǒng)的光刻技術(shù)主要是利用電子和光子改變光刻膠的物理化學性質(zhì)，進而得到相應(yīng)的納米圖形。而納米壓印技術(shù)則可以在不使用電子和光子的前提下，直接利用物理學機理機械地在光刻膠上構(gòu)造納米尺寸圖形。正是由于這種機械作用，使得納米壓印技術(shù)不再受到光子衍射和電子散射的限制，可大面積地制備納米級圖形。同時，由于這項技術(shù)所用的設(shè)備簡單，制備時間短，壓印模板可以重復(fù)使用，所以應(yīng)用該技術(shù)制備納米圖形所需的成本也較低。目前典型的三類納米壓印技術(shù)分別是：熱壓印，紫外固化壓印，微接觸印刷。分別適用在其各自的領(lǐng)域：
熱壓印技術(shù)：光電、光學器件；微型機電系統(tǒng)領(lǐng)域。
紫外固化壓印技術(shù)：納米光電器件、納米電子器件的生產(chǎn)；NEMS和MEMS加工；半導體集成電路的制造。
微接觸印刷技術(shù)：生物芯片和微流體器件的生產(chǎn)；生物傳感器（抗體光柵）；微機械元件的生產(chǎn)。
加工工藝來分，主要包含五大部分：壓印，刻蝕，鍍膜，檢測&表征與其他。所涉及的儀器設(shè)備主要包括：納米壓印機，感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機，電子束蒸發(fā)鍍膜機，原子力顯微鏡&掃描電鏡，以及超聲波清洗機&真空干燥箱等。
Sandwiched Flexible Polymer-SFP® & Hybrid Mold®軟模板壓印技術(shù)
盡可能消除灰塵顆粒對于納米壓印結(jié)果產(chǎn)生的影響
在不規(guī)則表面或者曲面進行納米壓?。ㄉ蠄D為單模光纖進行的納米壓印）
Nickel Template金屬鎳模板熱壓技術(shù)
直接對于聚合物襯底（PMMA、PET等材料上）直接熱壓，免去了刻蝕環(huán)節(jié)。
鎳模板壽命長，適合高溫高壓連續(xù)壓印。
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