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Dektak XTL探針式輪廓儀

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更新時(shí)間：2024-02-21 14:38:27瀏覽次數(shù)：155次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

自動(dòng)化設(shè)置和操作，基于參考位置和眾多測(cè)量位置進(jìn)行編程，以*大限度地提高測(cè)試通量并*大限度地減少出錯(cuò)。雙攝像機(jī)控制，更快地簡(jiǎn)化測(cè)量設(shè)置和定位到感興趣點(diǎn)。容易分析和數(shù)據(jù)收集，自動(dòng)執(zhí)行分析程序，僅報(bào)告復(fù)雜樣本上所需的特征。

詳細(xì)介紹

Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可*大限度地提高測(cè)試通量。

業(yè)界*佳自動(dòng)化和分析軟件

增強(qiáng)的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能*強(qiáng)大、*容易使用的探針式輪廓儀。該系統(tǒng)利用 Vision64 軟件，通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)眾多的測(cè)量位點(diǎn)、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測(cè)量形狀，如曲率半徑。模式識(shí)別可*大限度地減少操作員誤差并提高測(cè)量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。

****的探針技術(shù)

Dektak XTL 以 50 多年的探針式輪廓儀的專業(yè)知識(shí)和生產(chǎn)設(shè)施的應(yīng)用程序定制為基礎(chǔ)，以滿足當(dāng)今和未來嚴(yán)格的行業(yè)路線圖。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺(tái)為制造商提供了滿足嚴(yán)格計(jì)量研發(fā)要求的可靠工具。Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場(chǎng)相機(jī)提供增強(qiáng)的空間感知。實(shí)時(shí)視頻中的點(diǎn)擊定位使操作員能夠快速將樣品移動(dòng)到正確的位置，以便快速輕松地進(jìn)行測(cè)量設(shè)置和自動(dòng)化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。

其他硬件功能包括：