德國MN 水質(zhì)生物毒性分析儀BioFix Lumi-10
BioFix Lumi-10 面議污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
會(huì)員1.png)
深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號P-300S Pro ALD
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：林經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-06-16 19:02:31瀏覽次數(shù)：174次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)P-300SProALD技術(shù)參數(shù)工藝溫度：50-500°C襯底尺寸和類型：300mm晶圓/單片基片傳送選件：
芬蘭Picosun 原子層沉積機(jī)P-300S Pro ALD
技術(shù)參數(shù)
工藝溫度： 50 - 500 °C
襯底尺寸和類型 ：300mm晶圓/單片
基片傳送選件：
。 半自動(dòng)裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實(shí)現(xiàn)
。25片晶圓盒對盒式全自動(dòng)裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)
標(biāo)準(zhǔn) ：SEMI S2認(rèn)證
前驅(qū)體：
。液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
。等離子體（僅供200mm晶圓使用，最多4路氣體）
。前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
。6條獨(dú)立源管線,最多加載8個(gè)前驅(qū)體源（最多12個(gè)前驅(qū)體源，加上plasma管路共7根獨(dú)立源管線）
重量：820 kg
尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
選件： 集群工具，PICOFLOW™擴(kuò)散增強(qiáng)，N2發(fā)生器，尾氣處理，定制設(shè)計(jì)，與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) ：
。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為Al2O3工藝，
。其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如：
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學(xué)性能
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
德國MN 水質(zhì)生物毒性分析儀BioFix Lumi-10
BioFix Lumi-10 面議
低溫制冷機(jī)5℃～50℃工業(yè)用 水冷系統(tǒng)
FL-24000W 面議
環(huán)保在線 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
