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小型等離子清洗機

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更新時間：2023-09-20 14:21:07瀏覽次數(shù)：385次

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上海添時科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

主要特點	采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。清洗程度可達到分子級。可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。樣品臺可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
參數(shù)	電壓：AC220V 10A 消耗功率：<500W（包括真空泵） RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 腔體：Φ190mm×98mm 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm 內(nèi)腔：Φ165mm×55mm 清洗電極：Φ120mm 樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm 樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調(diào) 抽氣管：Φ12mm 極限真空度：0.1Pa 工作真空度：60Pa-500Pa 氣路數(shù)量：2路（選裝）流量控制器數(shù)量：1、2 流量顯示儀：2通道氣路接口：Φ6mm 加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa 工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）重量：20kg（不含真空泵）
可選配置	加熱樣品臺流量控制器（量程10、50、100，多可增加2個通道）