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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

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白光干涉儀ZeGageplus 光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號ZeGage plus

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更新時間：2022-11-28 14:55:34瀏覽次數(shù)：524次

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產(chǎn)品簡介

ZeGage Plus系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

◆物鏡: 1X - 50X 放大：標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表

◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)

◆光源: 長壽命白光 LED，計算機控制光強

◆物鏡安裝：直接螺紋安裝（標(biāo)配）；單物鏡楔形座安裝（選配）；手動或電控 4 位物鏡塔臺（選配）

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024，512×512,256×256,1024×160

◆樣件觀察: Mx 軟件集成實時觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機頭具有兩種可選安裝高度，以優(yōu)化工作距離

◆樣品臺控制: USB 控制器

◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能

◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°，集成 T 型槽板利于固定附件（標(biāo)配）手動型：XY 平移 50 x 100 mm（-01，-11）；電動型：

XY 平移 100 x 100 mm（-02，-12）

◆計算機: i5 級別 PC，23 寸顯示器 1080p

◆軟件: ZYGO Mx 軟件，Windows7（64 位）

◆尺寸（HWD）: 系統(tǒng)：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機：82x53x53cm

◆重量: ZeGage Plus主機：54Kg; 工作臺：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復(fù)性：＜0.15nm

◆光學(xué)分辨率（橫向）：0.52um （50x 物鏡）

◆空間采樣： 0.17um（50x 物鏡）

◆掃描速度： ≤ 73 um/秒

◆臺階高度重復(fù)性：≤0.3%@1σ

◆臺階精度： ≤ 3%

被測樣品特性：

◆材料：各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆尺寸（HWD）：87 x 100 x 100mm 標(biāo)準(zhǔn)主機頭位置；147 x 100 x 100mm 主機頭加高采用局部覆蓋放置可以測試更大的樣品

◆反射率：0.05%-99%

環(huán)境要求：

◆溫度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分鐘

◆濕度：相對濕度 5%-95%，無凝結(jié)

◆隔振：包含隔振，要求隔離 1-120Hz 振動

◆振動準(zhǔn)則： VC-C 或有更好的推薦

關(guān)鍵詞：顯示器工作臺

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