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TKF超高純金屬微型氣體過濾器METAL系列

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更新時間：2023-04-17 18:24:01瀏覽次數(shù)：254次

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產(chǎn)品簡介

TKF超高純金屬微型氣體過濾器316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，體積小、99%氦泄漏試驗、沖擊或振動可靠性高DI水清洗后用熱氮烘焙達(dá)到半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

  • 品   名：微型氣體過濾器


    品   牌:  TKF


    閥體材質(zhì)：316L不銹鋼

     

    產(chǎn)品信息：

    1、316 L不銹鋼結(jié)構(gòu)；


    2、高溫動態(tài)壓力應(yīng)用；


    3、體積小，沖擊或振動可靠性高；


    4、寬范圍流量從30到120 SLPM；


    5、與高純度半導(dǎo)體工藝氣體的良好相容性；


    6、3納米顆粒過濾性能保持高效率和最小壓降；


    7、5ra電拋光表面防止內(nèi)部污染；


    8、DI水清洗后用熱氮烘焙，達(dá)到半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)；


    9、100級制造、清潔及包裝環(huán)境；


    10、99%氦泄漏試驗。

     


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