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廣州朗拓儀器設備有限公司


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TKF超高純金屬微型氣體過濾器METAL系列

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間：2023-04-17 18:24:01瀏覽次數(shù)：237次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

TKF超高純金屬微型氣體過濾器316L不銹鋼結構，體積小、99%氦泄漏試驗、沖擊或振動可靠性高DI水清洗后用熱氮烘焙達到半導體工藝標準。

詳細介紹

  • 品   名：微型氣體過濾器


    品   牌:  TKF


    閥體材質：316L不銹鋼

     

    產(chǎn)品信息：

    1、316 L不銹鋼結構；


    2、高溫動態(tài)壓力應用；


    3、體積小，沖擊或振動可靠性高；


    4、寬范圍流量從30到120 SLPM；


    5、與高純度半導體工藝氣體的良好相容性；


    6、3納米顆粒過濾性能保持高效率和最小壓降；


    7、5ra電拋光表面防止內部污染；


    8、DI水清洗后用熱氮烘焙，達到半導體工藝標準；


    9、100級制造、清潔及包裝環(huán)境；


    10、99%氦泄漏試驗。

     


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