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aixACCT雙光束激光干涉儀

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天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀





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雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。

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天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀

 aixACCT雙光束激光干涉儀

 

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aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。

用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過驗(yàn)證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?;谛碌臄?shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測(cè)量的主要障礙。

 

技術(shù)數(shù)據(jù):

-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測(cè)試

-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V 

 至25 V(可選)

-壓電d 33系數(shù):

偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

         100 mV至10 V 

         至25 V(可選)

小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)

          100 mV至10 V

-電致伸縮M 33:類似于d 33

-C(V)測(cè)量:

偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

          100 mV至10 V 

          至25 V(可選)

小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)

          100 mV至10 V

天津瑞利光電創(chuàng)立以來一直秉承'以誠(chéng)興業(yè),共存共榮'的經(jīng)營(yíng)理念,視客戶與伙伴為摯友,視員工為公司的寶貴財(cái)富,團(tuán)結(jié)一致,開拓創(chuàng)新,勇于打破行業(yè)發(fā)展瓶頸,逐步構(gòu)建并擴(kuò)大公司在自動(dòng)化領(lǐng)域的一體化供銷網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)中心。'整合行業(yè) 資源,力爭(zhēng)行業(yè)好口碑,勇做行業(yè)發(fā)展引擎'將是瑞利人永遠(yuǎn)的追求,我們?cè)概c更多的用戶和國(guó)內(nèi)外 品牌供應(yīng)商攜手并進(jìn),一起為國(guó)內(nèi)工業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量,共同發(fā)展,共同繁榮。


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