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aixACCT雙光束激光干涉儀

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產(chǎn)品簡介

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀

相關(guān)產(chǎn)品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。

詳細(xì)介紹

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀

aixACCT雙光束激光干涉儀

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雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過驗(yàn)證的精度（x切割石英），max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類測量的主要障礙。

技術(shù)數(shù)據(jù):

-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試

-位移/應(yīng)變測量:50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

至25 V（可選）

-壓電d 33系數(shù)：

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類似于d 33

-C（V）測量:

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

天津瑞利光電創(chuàng)立以來一直秉承'以誠興業(yè)，共存共榮'的經(jīng)營理念，視客戶與伙伴為摯友，視員工為公司的寶貴財(cái)富，團(tuán)結(jié)一致，開拓創(chuàng)新，勇于打破行業(yè)發(fā)展瓶頸，逐步構(gòu)建并擴(kuò)大公司在自動(dòng)化領(lǐng)域的一體化供銷網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)中心。'整合行業(yè) 資源，力爭行業(yè)好口碑，勇做行業(yè)發(fā)展引擎'將是瑞利人永遠(yuǎn)的追求，我們愿與更多的用戶和國內(nèi)外品牌供應(yīng)商攜手并進(jìn)，一起為國內(nèi)工業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量，共同發(fā)展，共同繁榮。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀數(shù)據(jù)采集顯微鏡