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天津瑞利光電科技有限公司


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AEROTECH空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺ABRS150MP

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產(chǎn)品型號ABRS150MP

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更新時間:2024-05-07 11:31:09瀏覽次數(shù):155次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹直接驅(qū)動,無槽,無刷伺服電機零齒槽電機,出色的速度穩(wěn)定性出色的誤差運動和擺動性能直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器薄型平面設(shè)計沒有機械接觸Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位,速度穩(wěn)定性和誤差運動性能

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

直接驅(qū)動,無槽,無刷伺服電機

零齒槽電機,出色的速度穩(wěn)定性

出色的誤差運動和擺動性能

直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

薄型平面設(shè)計

沒有機械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位,速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查,高精度計量,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺的設(shè)計已經(jīng)過優(yōu)化,可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度,從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯誤。除了較低的總高度外,ABRS系列還提供了一個通孔,可用于產(chǎn)品直通,激光束傳輸,電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。

機械設(shè)計

ABRS設(shè)計具有大的空氣軸承表面,具有很高的剛度和承載能力,不僅產(chǎn)生出色的軸向和徑向誤差運動,而且產(chǎn)生出色的傾斜誤差運動。所產(chǎn)生的面誤差運動明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺和主軸,極大地受益于需要出色平面性能的應(yīng)用。

無刷直驅(qū)

為了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設(shè)計,可產(chǎn)生高扭矩輸出,而產(chǎn)生的熱量最少。無槽設(shè)計本質(zhì)上是零齒槽和無轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。

準確定位

光學(xué)編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時,分辨率可達到<0.03弧秒。

定制設(shè)計

定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導(dǎo)試驗臺應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

寬度:150 mm

桌面直徑:128.1 mm

高度:80 mm

孔徑:8 mm

總行程:360°連續(xù)

總線電壓:80 VDC

基本編碼器分辨率:3600行/轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速:max.300 rpm

精度:±3角秒

雙向重復(fù)性:<2弧秒

負荷

軸向:8 kg

徑向:4 kg

傾斜:3 N-m

軸向誤差運動(同步):<175 nm

徑向誤差運動(同步):<450 nm

傾斜誤差運動(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)

軸向誤差運動(異步):<20 nm

徑向誤差運動(異步):<20 nm

傾斜誤差運動(異步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)

工作壓力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)

空氣消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)

材料:鋁

表面:硬涂層(62洛氏硬度)

慣性卸載:3850 kg-mm2

總質(zhì)量:4.8公斤

關(guān)鍵詞:伺服電機 工作臺 位移臺

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