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激光干涉儀

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更新時(shí)間：2023-01-19 08:39:14瀏覽次數(shù)：771次

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江蘇富紅科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)

詳細(xì)介紹

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

1. 靜態(tài)測(cè)量

SJ6000激光干涉儀的系統(tǒng)具有模塊化結(jié)構(gòu)，可根據(jù)具體測(cè)量需求選擇不同組件。

SJ6000基本線(xiàn)性測(cè)量配置：

SJ6000全套系統(tǒng)：

線(xiàn)性測(cè)量構(gòu)建

要進(jìn)行線(xiàn)性測(cè)量，需使用隨附的兩個(gè)外加螺絲將其中的一個(gè)線(xiàn)性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置就是“線(xiàn)性干涉鏡"。線(xiàn)性干涉鏡放置在激光頭和線(xiàn)性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線(xiàn)形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線(xiàn)性反射鏡，通過(guò)線(xiàn)性反射鏡的線(xiàn)性位移來(lái)實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)量。如下圖所示

激光干涉儀可用于精密機(jī)床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量。測(cè)量時(shí)在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集并及時(shí)處理數(shù)據(jù)。

SJ6000軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，自動(dòng)采集完數(shù)據(jù)后根據(jù)所選標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算出所需誤差數(shù)據(jù)，為機(jī)床、三坐標(biāo)的誤差修正提供依據(jù)。

利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高。

準(zhǔn)直平臺(tái)/傾斜工作臺(tái)的測(cè)量

由于角度鏡組的不同安裝方式，其測(cè)量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測(cè)量。

在直線(xiàn)度測(cè)量過(guò)程中，可以由直線(xiàn)度干涉鏡或者直線(xiàn)度反射鏡運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的橫向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行測(cè)量，一般盡可能的采用直線(xiàn)度干涉鏡相對(duì)于直線(xiàn)度反射的運(yùn)動(dòng)，這樣操作有利于提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和精度。直線(xiàn)度測(cè)量可以對(duì)水平面和垂直面進(jìn)行測(cè)量，這取決于直線(xiàn)度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。