傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例電磁閥（未通電時關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1）		N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未描述的氣體是N2當(dāng)量校準(zhǔn)）		空氣，N2
流量范圍（* 2）		10 SCCM到10 SLM	20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM）	100,150 SLM	200,300 SLM	400,500 SLM（* 3）
控制范圍		2~100％（F.S.）		5~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		總流量控制范圍在1秒內(nèi) （wihtin±2％F。S.）		1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短 （在±2％F。內(nèi)）	2秒或更短（±2％FS內(nèi)）
		L：50.149kPa H：150.300kPa		L：150.249kPa H：250.350kPa	L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa
精度（* 4）		±1.0%F.S.			±2.0%F.S.
再現(xiàn)性		±0.25%F.S.			±0.5%F.S.
工作壓差（* 5）		50至300千帕 （Ar，CO2：100至300 kPa）	100至300千帕 （Ar，CO 2：150至300 kPa）	150至350千帕	200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa	400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa
入口壓力		500kPa(G)
耐壓		980kPa(G)
He泄漏率（* 6）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下		1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
溫度	工作溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許工作濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
電氣連接		D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， RJ-45模塊化插孔x 2			D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， HR-10A×2
流量設(shè)定信號		0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ）
流量輸出信號		0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上）
數(shù)字通信		使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps）
所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA	+15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA		24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub）
接頭（* 7）		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4		1/2 SW（標(biāo)準(zhǔn)），3/4 SW
安裝姿勢		推薦水平方向
重量（* 8）		約850g	約1000g	約2250g	約3500g

（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。

（* 2）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下轉(zhuǎn)換為質(zhì)量流量cc / min和L / min的值。

（* 3）工作壓力范圍內(nèi)的輸出流量為1％或更低。

（* 4）流量范圍的精度（滿量程）。

（* 5）工作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 6）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa·m3 / sec以下。

（* 7）如需其他接頭，請另行詢問。

（* 8）沒有配件的重量。

（* 9）300 SLM，500 SLM將為L：250。299 kPa。