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多層/腔無(wú)塵無(wú)氧烘箱

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤…

詳細(xì)介紹

多層/腔無(wú)塵無(wú)氧烘箱
一.概述:
普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。

二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
名稱及型號(hào):多層/腔無(wú)塵無(wú)氧烘箱HSQMO-6D
設(shè)備特點(diǎn):可對(duì)接MES系統(tǒng)
內(nèi)膽為SUS304不銹鋼滿焊密封結(jié)構(gòu),防止氣體進(jìn)入絕緣層;
表面噴塑處理保證了設(shè)備的抗腐蝕能力;
門密封設(shè)計(jì)保證設(shè)備在300℃高溫運(yùn)行時(shí)完整的密封效果;
大門與加熱器/風(fēng)門互鎖功能。
可連電腦,實(shí)現(xiàn)同時(shí)監(jiān)測(cè)與控制多臺(tái)設(shè)備
歷史數(shù)據(jù)、歷史操作,歷史報(bào)警數(shù)據(jù)查詢,記憶操作步驟,操作便捷!
智能化多段可編程控制,真正實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程自動(dòng)控制和運(yùn)行

主要技術(shù)參數(shù)

工作尺寸:W500×H500×D500*6
溫度范圍:室溫+20℃~300℃
均勻度:±1.5%(空載)
均勻度:±2%(滿載)
潔凈等級(jí):Class100級(jí)
含氧量:<=20PPM
升溫速度:常溫~+250℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控
降溫速度:降溫斜率程序可控,250~+120℃,2℃/min以內(nèi)可以設(shè)定,120~70℃,降溫時(shí)間<=50min,
溫控器:日本優(yōu)易控控制模組+PC界面

三、箱體結(jié)構(gòu):
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵。
3.箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵。
4.內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產(chǎn)生PARTICLE。
5.中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
7.電熱器:采用進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器。
8.潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無(wú)塵化配件及材料。

四、工作室的氣流設(shè)計(jì)
1.采用特殊設(shè)計(jì),滿足內(nèi)腔Class100潔凈標(biāo)準(zhǔn);
2.排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫,排風(fēng)加冷阱。
3.進(jìn)氣口:加附N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量。入氣口:10mm
4.壓縮氣體過(guò)濾器,可把氣體過(guò)濾到CLASS100,凈化氣體流量:300L/分鐘。

五、可靠的測(cè)控系統(tǒng)
溫控裝置:智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控(可聯(lián)網(wǎng),對(duì)接MES及SECSGEM) 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯:可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式可編99段,共1200段;歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出) ;三點(diǎn)溫度記錄;溫度測(cè)量:采用特制鍇裝鉑電阻

六、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//欠相保護(hù)//電熱器過(guò)電流保護(hù)裝置//馬達(dá)電流過(guò)載保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常時(shí)蜂鳴器警示//門安全開關(guān)//三色指示燈

產(chǎn)品參考圖:

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