顯微鏡儀高精度亞納米物鏡/定位臺(tái)！上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使擁有更高的精度和線(xiàn)性度以及較低的底噪

詳細(xì)介紹

顯微鏡儀

高精度亞納米物鏡/定位臺(tái)！

上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使擁有更高的精度和線(xiàn)性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電平移臺(tái)旨在滿(mǎn)足超精密定位應(yīng)用的需求。該平移臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度、線(xiàn)性度和低底噪。由于其具有較高的精度、線(xiàn)性度和較低的底噪等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。

AU-FOCHS采用管狀設(shè)計(jì)，專(zhuān)門(mén)用于顯微鏡物鏡快速高精度定位。該物鏡掃描臺(tái)可提供行程可達(dá)到100μm，精度可達(dá)到0.1 nm，諧振頻率可達(dá)到1175Hz。它由鋁、鋼和黃銅構(gòu)成，配備硅傳感器，可提供皮米級(jí)的穩(wěn)定性。以上優(yōu)點(diǎn)使其擁有廣泛的應(yīng)用，例如，、顯微成像、體容積成像，等還可以與相機(jī)系統(tǒng)結(jié)合使用實(shí)現(xiàn)。

顯微鏡物鏡掃描臺(tái) 顯微鏡物鏡掃描臺(tái)2

AU-FOC是一款專(zhuān)門(mén)用于顯微鏡物鏡準(zhǔn)確定位的設(shè)備。該物鏡掃描臺(tái)可提供100/200/300/500μm不同行程。該物鏡掃描臺(tái)由鋁和黃銅構(gòu)成，結(jié)合硅傳感器可提供皮米量級(jí)的穩(wěn)定性。

顯微鏡物鏡掃描臺(tái)3 顯微鏡物鏡掃描臺(tái)4

以上兩款物鏡掃描臺(tái)的黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺(tái)結(jié)合使用?？捎玫奈镧R大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.

顯微鏡物鏡掃描臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，諧振頻率可達(dá)1175Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導(dǎo)向

顯微鏡物鏡掃描臺(tái)主要應(yīng)用：
l 系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 鏡
l 半導(dǎo)體計(jì)量學(xué)

顯微鏡物鏡掃描臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)：

	Unit	AU-FOC				AU-FOCHS
Range of motion	mm	100	200	300	500	100
Resolution	nm	0.1	0.2	0.3	0.5	0.1
Typical noise floor	nm	0.01	0.02	0.03	0.05	0.01
Full range repeatability	nm	0.2	0.4	0.6	1.0	0.2
Linearization (typical)		0.02%
Resonant frequency	Hz	500	350	250	200	1175
Stiffness	N/mm	0.6	0.4	0.3	0.25	3.5
Maximum load :
horizontal use	Kg	0.5
vertical use	Kg	0.5
Sensor		Silicon HR sensor
Material		Al
Cable length	m	2
Controller		standard				High speed

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關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是國(guó)內(nèi)光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商，代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿；

產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防及更細(xì)分的前沿市場(chǎng)如、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、激光制造等；可為客戶(hù)提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

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關(guān)鍵詞：顯微鏡傳感器