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詳細介紹

EVCClass100 潔凈烘箱無塵烘箱的詳細資料：

無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱

Class 100 Clean Ovens

一、設備用途:
Class100 潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、產(chǎn)品特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

三．無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱產(chǎn)品技術參數(shù)：

1.主要技術指標：
   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： RT+20～+300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;    溫度波動度：±0.5℃（空載）
   溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
   電源：380v , 50Hz，15KW      網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數(shù)在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。

設備型號	溫度范圍	內(nèi)容積	其它參數(shù)	內(nèi)尺寸（W×D×Hmm）	外尺寸（W×D×Hmm）
EVC150	(RT+60)～+200℃	150L	潔凈度：100級	500×500×600	770×1100×1,350
EVC360	(RT+60)～+200℃	360L	潔凈度：100級	600×600×1000	770×1025×1850
EVC640	(RT+60)～+200℃	640L	潔凈度：100級	800×800×1000	1,030×1100×1850
EVCH150	(RT+60)～+350℃	150L	潔凈度：100級	500×500×600	770×1100×1,350
EVCH360	(RT+60)～+350℃	360L	潔凈度：100級	600×600×1000	770×1025×1850
EVCH640	(RT+60)～+350℃	640L	潔凈度：100級	800×800×1000	1,030×1100×1850