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長沙沛鈺進出品貿易有限公司


當前位置:長沙沛鈺進出品貿易有限公司>>CVD系統(tǒng)>>1200℃雙溫區(qū)開啟式真

1200℃雙溫區(qū)開啟式真

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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聯(lián)系方式:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-02-28 09:53:42瀏覽次數(shù):200次

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經營模式:其他

商鋪產品:487條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學城辦事處)

產品簡介

產品詳情型號:OTF-1200X-80-II-F3LV產品概述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)

詳細介紹

產品詳情

型號:OTF-1200X-80-II-F3LV

產品概述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.

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技術參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情
殼體結構

· 雙層殼體結構,并帶有分冷

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽


功率

 2.5 KW


電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz


加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


工作溫度

1200 ℃


連續(xù)工作溫度

 1100 ℃


升溫速率

≤20 ℃ /min


爐管尺寸和材質

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm


加熱區(qū)長度

· 兩個加熱區(qū):  每個溫區(qū)200 mm (8")  

總加熱區(qū)長度400 mm 


溫度控制器

· 兩個精密的溫度控制器,單獨的控制兩個溫區(qū)

· PID方式控制,通過PWM固體繼電器

· 30 可編程智能溫度調節(jié)儀,可設置30段升降溫程序

· 帶有過熱和斷偶保護

控溫儀表操作視頻


控溫精度

+/- 1 ℃


真空密封系統(tǒng)

· 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經安裝機械壓力表(圖片中的藍表為選配)閥門

· 真空度:通過機械泵真空度可以達到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達到10-5 torr.

·泄漏率< 5 m-torr/min(點擊圖片查看詳細資料)

blob.png

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。


防腐型真空計

可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。

blob.png

混氣系統(tǒng)

· 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 

· 路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  

· 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  

· 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力    


閥門

四個不銹鋼閥門安裝移動架的側面板上分別在三個氣體的入口處


尺寸

· 爐子: 550 x 380 x 520 

移動架: 600x600x597


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計

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凈重

60KG 


運輸重量

600 lbs


質保期

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件


質量認證

· CE認證

· 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證

若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證   

使用注意事項

· ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· ·由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· ·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· ·石英管的長時間使用溫度<1100℃

·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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