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行業(yè)產(chǎn)品

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長沙沛鈺進(jìn)出品貿(mào)易有限公司


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雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-02-28 09:36:07瀏覽次數(shù):148次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:487條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號(hào):OTF-1200X-PESDFG-50產(chǎn)品概述:OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),連接循環(huán)手套箱

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào):OTF-1200X-PESDFG-50

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接,可利用CVD方法,將樣品處理后直接移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在實(shí)驗(yàn)室中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會(huì)造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶,購買前請(qǐng)與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 (2019.12.18—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;

? 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度:1100℃

? 兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)

? 電源:AC220,50Hz   功率:3KW


加熱爐圖.jpg       溫控儀表.JPG

手套箱參數(shù)

? 帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2 ppm

? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接


手套箱照片.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸

? 爐體尺寸:1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H)

? 手套箱尺寸:780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)

爐子尺寸.jpg    手套箱尺寸圖.jpg

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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