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1200℃三溫區(qū)HPCVD系

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號：OTF-1200X-III-HPCVD-SE產(chǎn)品概述：OTF-1200X-III-HPCVD-SE是一款HPCVD（物理/化學(xué)混合氣相沉積）系統(tǒng)，帶有的原料推進(jìn)系統(tǒng)和1350℃原位蒸發(fā)槍

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號：OTF-1200X-III-HPCVD-SE

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-III-HPCVD-SE是一款HPCVD（物理/化學(xué)混合氣相沉積）系統(tǒng)，帶有的原料推進(jìn)系統(tǒng)和1350℃原位蒸發(fā)槍。原料推進(jìn)系統(tǒng)和同時(shí)/依次將3種反應(yīng)原料推入到爐管中（可設(shè)定推入位置和推進(jìn)速度），以達(dá)到適合的蒸發(fā)溫度。溫度可控型原位蒸發(fā)槍，溫度可達(dá)1350℃，也可多固體原料原位蒸發(fā)。所以此系統(tǒng)可對4種固體或液體源供蒸發(fā)。此設(shè)備適合各種HPCVD實(shí)驗(yàn)，特別適用于制備多層二維晶體材料。操作面板為PLC觸摸屏，用戶可設(shè)置進(jìn)料速度，進(jìn)料位置及實(shí)時(shí)監(jiān)測蒸發(fā)原料的溫度。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

爐體結(jié)構(gòu)	的原料推進(jìn)系統(tǒng)可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下同時(shí)/依次推進(jìn)3種原料進(jìn)入到管式爐中（并可實(shí)時(shí)監(jiān)測其溫度），溫度可控型原位蒸發(fā)槍，溫度可達(dá)1350℃，適合用HPCVD法生長多層膜 ·爐體為三溫區(qū)開啟式管式爐，由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制每個(gè)溫區(qū)，其控溫精度可達(dá)±0.1℃ ·雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·采用氧化鋁纖維作為爐膛材料，表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，和延長使用壽命 ·爐體開啟式設(shè)計(jì)，便于跟換爐管，并且?guī)в虚_啟斷電功能，保證操作安全
電源要求	·單相208~240VAC ·功率9KW（需60A的空氣開關(guān)）
加熱區(qū)	·三個(gè)加熱區(qū)，每個(gè)加熱區(qū)長度：300mm ·總加熱區(qū)長度：900mm
恒溫區(qū)	恒溫區(qū)長度：625mm(±2℃）（三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的加熱溫度）
工作溫度	·工作溫度：1200℃（<1hr） ·連續(xù)工作溫度：100~1100℃
升溫速率	≤ 10°C /min
原料推進(jìn)系統(tǒng)&蒸發(fā)槍	的原料推進(jìn)系統(tǒng)可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下同時(shí)/依次推進(jìn)3種原料進(jìn)入到管式爐中（并可實(shí)時(shí)監(jiān)測其溫度），利用推送系統(tǒng)可將3個(gè)不同蒸發(fā)源同時(shí)/依次送入3個(gè)獨(dú)立的小石英管中，精確地找到所需溫度，保證實(shí)驗(yàn)精確性和重復(fù)性 ·蒸發(fā)槍：采用鎢線圈加熱，氧化鋁坩堝裝料，其溫度可達(dá)1350℃，控溫精度±1℃
坩堝移動控制	·坩堝的移動速度和移動距離通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，可設(shè)定控制 ·移動距離: 530mm （精度1mm）
沉積樣品臺	·特殊設(shè)計(jì)樣品臺，帶有手動遮擋板，放置原料交替試導(dǎo)致所制備樣品污染 ·可手動調(diào)節(jié)樣品臺在爐管中的位置 ·可選擇水平樣品臺，或傾斜式樣品臺
溫度控制系統(tǒng)	·三個(gè)溫區(qū)由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制，采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 ·歐陸儀表控制，控溫精度可達(dá)±0.1℃ ·帶有超溫和斷偶報(bào)警 ·三個(gè)K型熱偶（每個(gè)溫區(qū)1個(gè)）
管式爐配置	·爐管，采用高純石英管，尺寸為Φ130（外）mm×Φ122（內(nèi)）mm×1200mm（長） ·配有2個(gè)氧化鋁管堵，防止熱輻射（加熱前管堵必須放入到爐管內(nèi)） ·可選購石英管堵，保證反應(yīng)環(huán)境潔凈
真空計(jì)	·防腐型復(fù)合真空計(jì)（皮拉尼和隔膜規(guī)） ·測量范圍：3.8E-5 ~ 1125 torr
真空泵&真空度	·真空度：10E-2 torr（采用機(jī)械泵），10-E5 torr(采用分子泵) 可在本公司選用各種真空泵
氣體流量控制系統(tǒng)	配有4通道氣體流量控制系統(tǒng)，采用觸摸屏設(shè)定參數(shù)
循環(huán)水冷機(jī)	設(shè)備采用水冷不銹鋼密封法蘭，所以配有循環(huán)水冷機(jī)
設(shè)備尺寸	4000×600×1500m

質(zhì)量認(rèn)證	·CE認(rèn)證 ·所有電器元件（≧24V）都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證
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