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5850EM | 5851EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡介

5850EM/5851EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器經(jīng)驗(yàn)證長期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用5850EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的5850E和i系列MFC，可在潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性

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5850EM / 5851EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

經(jīng)驗(yàn)證長期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用

5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過程效率，這得益于設(shè)備無需對氣體壓力進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。

5850em