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廣州市固潤光電科技有限公司


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Table stable 防震臺-主動隔震臺-主動減震臺-隔振臺 AVI-600XL

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產(chǎn)品型號AVI-600XL

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-11-02 14:59:58瀏覽次數(shù):520次

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商鋪產(chǎn)品:80條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

Tablestable|防震臺-主動隔震臺-主動減震臺-隔振臺AVI-600XL是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動,以提高精密設(shè)備的性能,具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz,被動隔振頻率200Hz,其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中,主動檢測輸入振動并動態(tài)消除;允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置,......

詳細(xì)介紹

Table stable |防震臺-主動隔震臺-主動減震臺-隔振臺 AVI-600XL為各類精密儀器主動減振臺-防振臺-隔振臺,光學(xué)顯微鏡主動防振臺-干涉儀主動防震臺-電子天平防振臺-輪廓儀防震臺-半導(dǎo)體設(shè)備主動防震臺-激光設(shè)備防振臺-微納加工精密儀器防振系統(tǒng)。優(yōu)點:六軸方向自由度隔防振臺,超低頻負(fù)剛度防震臺,高負(fù)載主動防震臺!

Table stable-主動隔震臺-防震臺-減震臺AVI-600XL

產(chǎn)品描述:

AVI系列主動隔震臺-防震臺-減震臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng),可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能(從0.5 Hz開始)。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計,無需為大多數(shù)儀器(包括大多數(shù)SEM)安裝所需的升降設(shè)備,從而簡化了安裝過程。

適用于各類大型電子顯微鏡AEMSEMATMTEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統(tǒng)防震臺,時頻系統(tǒng)防震臺,大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺,激光設(shè)備主動防震!

工作原理:

主動隔震臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動隔震臺采用*的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

產(chǎn)品特點:

  • 六個空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)
  • 5-20ms響應(yīng)時間
  • 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
  • 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
  • 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
  • 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
  • 無低頻共振、無空氣要求

應(yīng)用范圍:

  • 超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度計量工具
  • 光譜儀器

技術(shù)參數(shù):

  • 型號:AVI-600XL/LP
  • 系統(tǒng)配置:獨立隔振裝置 & 控制裝置
  • 主動隔振范圍:大致為1.0 Hz – 200 Hz
  • 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
  • 顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
  • LEDs 指示輸出階段的過載情況。
  • 單元尺寸(每個):318 x 856 x 112.5 Hmm
  • 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
  • 隔振單元重量: 34kg
  • 負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)
  • 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
  • 功耗:通常27W
  • 校正力:水平12N,垂直24N
  • 系統(tǒng)噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
  • 靜態(tài)柔度:垂直約1µm/N,水平約2 µm/N
  • 溫度范圍:5℃ – 40℃
  • 相對濕度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
  • 室內(nèi)/室外使用:僅用于室內(nèi)

升級選項:

  • Table stable|主動隔震臺-防震臺-減震臺AVI-600XL可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

隔振效果:

性能對比圖:SEM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像: 不含隔zhen系統(tǒng)和包含AVI系列隔震臺。當(dāng)使用AVI系列減震臺搭載SEM時,所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。

隔振臺-Table stable-低頻隔振臺AVI-400S的隔振效果圖

標(biāo)簽:AVI系列Table stable主動減振臺主動減震臺主動防振臺主動防震臺主動隔震臺傳感器低頻穩(wěn)定器減振臺減震臺加速度傳感器示波器防振臺防震臺隔振隔振臺隔振系統(tǒng)隔震臺


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