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三路質量流量計

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產品型號CY-3Z

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更新時間：2023-04-22 07:05:04瀏覽次數：193次

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鄭州成越科學儀器有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：104條

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聯(lián)系人：汪紀彬

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產品簡介

簡單介紹：產品特點：1.選擇多種氣體方式；2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕；3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏。

詳細介紹

詳情介紹：

○ 適用范圍
1.半導體制造業(yè)
2.真空鍍膜設備
3.特殊材料表面處理
4.燃氣控制
5.泄漏檢測系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測分析設備
7.化學，石化，冶金，光纖等

○ 產品特點
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏

○ 技術參數

功能	三路質量流量計
質子流量控制器	工作溫度：5~45 oC *大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	150W
機械壓力表	有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內部連接管道為1/4"不銹鋼管外部通氣管道為1/4"聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4" 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質量認證	CE認證
質保期	一年質保期，終身維護