氣體質(zhì)量流量計全稱為質(zhì)量流量控制器，其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER"(簡稱MFC)，主要由：流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域；比如：擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。其主要特點：
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補償
3、快速的響應(yīng)速度，穩(wěn)定度高，重復(fù)性好。
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對零點漂移有效的控制
6、傳感器、分流器、精密元器件日本進口
| 產(chǎn)品名稱 | 氣體質(zhì)量流量計 |
| 流量范圍 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 |
| 安裝角度 | 任意 |
| 流量控制范圍 | 2%～99% |
| 流量測量范圍 | 0～99% |
| 響應(yīng)時間 | 2s（T98，設(shè)定值的±2% F.S.） |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃～50℃ |
| 精度保證溫度 | 15℃～35℃ |
| 精度 | ±1.0%F.S. |
| 線性精度 | ±0.5%F.S. |
| 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
| 工作壓差 | ～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D) |
| 耐壓 | 3MPa |
| 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s （He） |
| 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 |
| 管路接頭 | Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
| 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA | +24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供電時) |
| 設(shè)定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA |
| 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 |
| 重量(kg) | 0.9 |
