1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設(shè)計，的設(shè)計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定安全，加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術(shù)參數(shù)：
| 真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-T1500-60IT |
| 爐管材質(zhì) | 高純氧化鋁 |
| 爐管直徑 | 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) |
| 爐管長度 | 1000mm |
| 爐膛長度 | 400mm |
| 加熱區(qū)長 | 300mm |
| 恒溫區(qū)長 | 150mm |
| 工作溫度 | ≤1450℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 |
| 顯示模式 | LCD |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 |
| 法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 |
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
| 供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-3Z |
| 氣體通道 | 3通道 |
| 測量部件 | 氣體質(zhì)量流量計 |
| 測量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。 |
| B通道：0～300SCCM N2氣 |
| C通道：0～500SCCM Ar氣 |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 管道耐壓 | 3MPa |
| 工作壓差 | 50～300KPa |
| 連接管道 | 304不銹鋼 |
| 控制閥門 | 304不銹鋼針閥 |
| 接口規(guī)格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
| 排 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A |
| 分子泵 | CY-600 |
| 前極泵 | 旋片泵 |
| 抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa |
| 旋片泵：1.1L/S |
| 抽氣接口 | KF40 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 真空測量 | 復(fù)合真空計：電阻規(guī)+電離規(guī) |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
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