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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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精密勻膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)CY-AC200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-12-15 18:01:16瀏覽次數(shù):431次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:104條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:汪紀(jì)彬

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹: 此款勻膠機(jī)共有兩種型號(hào):CY-AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),CY-AC200-PE是優(yōu)異型號(hào);CY-AC200精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,這是一種程控伺服型精密勻膠機(jī),可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設(shè)備采用了不銹鋼外殼,更加耐久和美觀;采用了工業(yè)級(jí)別的200W的伺服電機(jī)系統(tǒng)和與track設(shè)......

詳細(xì)介紹

詳情介紹:

主要性能指標(biāo)

1:主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

2:內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料(HDPE)

3:旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1秒

4:旋涂速度:0-10000rpm

5:旋涂加速度:0-50000rpm/s

6:馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm(CY-AC200-SE);<±0.1rpm(CY-AC200-PE)

7:轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性:1rpm(CY-AC200-SE);0.1rpm(CY-AC200-PE)

8:CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開(kāi)關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能

9:工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圓晶)

11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米測(cè)量)

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)

1:*新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸

2:采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷

3:采用“密閉碗"設(shè)計(jì),可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。

4:標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm,可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制

5:采用工業(yè)級(jí)的伺服電機(jī),電機(jī)的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部

6:機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

7:排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)的底部,利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性

8:透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。


關(guān)鍵詞:伺服電機(jī)

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