簡(jiǎn)單介紹： CY-SPC-HUA6勻膠機(jī)是一種小型、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過(guò)超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進(jìn)而通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件，可在勻膠后進(jìn)行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計(jì)控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內(nèi)，在勻膠時(shí)保護(hù)膠液不收空氣中的氣體影響。此款勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片，載玻......

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

產(chǎn)品特征

1. 采用直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制

2. 高清晰觸摸屏控制

3. 可進(jìn)行單步多步勻膠操作，可存儲(chǔ)五種程序，每種程序可設(shè)置五步操作

4. 防堵膠設(shè)計(jì)

5. 鋁合金腔體，堅(jiān)固耐用

6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進(jìn)行多種輔助

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品名稱	超聲波輔助氣氛勻膠機(jī)
圓晶尺寸	6英寸
旋轉(zhuǎn)速度	100~10000rpm可調(diào)
旋轉(zhuǎn)加速度	100~5000rpm/s可調(diào)
單次*長(zhǎng)勻膠時(shí)間	3000s
勻膠腔體尺寸	Φ200mm* 90mm
電壓	220V 50Hz
功率	400W
加熱溫度	0-100℃
質(zhì)保時(shí)間	易損件除外，1年，終身技術(shù)支持

超聲波系統(tǒng)

霧化頭材質(zhì)	鈦合金
頻率	40kHz
功率	130W
流量	0.55mL/s
微粒直徑	25um
霧化頭類型	錐型
霧化頭重量	0.3kg
超聲波電源尺寸	315312135mm
超聲波電源重量	5kg

注射泵

流量范圍	0.001uL/min-43.349mL/min
掉電記憶工能	保存設(shè)置參數(shù)，重新上電后，無(wú)需設(shè)置
適用進(jìn)樣器規(guī)格	10uL-1000uL
適用注射器規(guī)格	1mL-60mL
線速度范圍	5um/min-65um/min
線速度調(diào)節(jié)分辨率	5um/min
*大行程	140mm
行程分辨率	0.156um
額定線性推力	＞90N

流量計(jì)

控制氣體種類	2種
氣體流速	16-160mL/min

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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全自動(dòng)超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)

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