主要技術(shù)特點
·工作可靠
CY-SPX無油真空泵在半導(dǎo)體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環(huán)保、汽車、分析測試
儀器等行業(yè)生產(chǎn)線上常年連續(xù)運行，穩(wěn)定可靠，為各行業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究用戶信賴。
·性能優(yōu)良
對被抽系統(tǒng)無油污染，創(chuàng)造出了潔凈的真空環(huán)境；
噪音低、振動低、溫升低、密封材料性能優(yōu)異、壽命長達5年，可靠耐用；
排氣機構(gòu)部件互不接觸，無摩擦，效率高；沒有返油與水蒸汽，也不噴油，節(jié)能環(huán)保；
極限壓力低至1Pa以下，可以替代油旋片真空泵。
·性價比合理
價格合理，節(jié)省采購成本；
運動件無摩擦能耗低，配件質(zhì)優(yōu)價廉，服務(wù)及時可靠，節(jié)省運行成本；
*終產(chǎn)品質(zhì)量好、成品率高、測試指標準確，節(jié)省產(chǎn)品生產(chǎn)成本；
不需要冷卻水和潤滑油，不需要日常維護，節(jié)省人工費用。
·應(yīng)用領(lǐng)域
| | 工業(yè) | 半導(dǎo)體 | 能源石化 | 食品藥品 | 科學(xué)研究 | 分析測試 |
| 真空封裝 存儲 | √ | √ | | √ | √ | |
| 真空爐 | √ | √ | | | √ | |
| 排氣臺 | √ | √ | | | √ | √ |
| 烘箱/冷凍干燥 | √ | √ | √ | √ | √ | |
| 氣體回收/再循環(huán) | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 制冷/空調(diào)管路抽真空 | √ | | | | | |
| 制動/管路抽真空 | √ | √ | √ | √ | √ | |
| 激光抽真空 | √ | | | | √ | |
| 分子泵前級 | √ | √ | | √ | √ | √ |
| 工藝預(yù)抽真空 | √ | √ | √ | √ | | |
| 鍍膜 | √ | √ | | | √ | √ |
| 檢漏 | √ | √ | √ | | √ | √ |
| 手套箱 | √ | √ | | √ | √ | |
| 質(zhì)譜儀 | | | | | √ | √ |
| 電子顯微鏡 | | | | | √ | √ |
| 高能束線/加速器 | | | | | √ | √ |
| 高真空試驗臺 | | | | | √ | |
| 樣品制備 | | | | | √ | √ |
·主要技術(shù)參數(shù)
| 型號 | CY-SP1000 | CY-SP600 | CY-SP300 | CY-SP150 |
| 排氣速度 | l/s | 16.6 | 8.7 | 4.3 | 2.0 |
| l/min | 996.0 | 522.0 | 258.0 | 120.0 |
| m3/h | 59.8 | 31.3 | 15.5 | 7.2 |
| cfm | 35.8 | 18.7 | 9.3 | 4.3 |
| 極限真空度 | Pa | ≦1.0 | ≦1.0 | ≦2.6 | ≦8.0 |
| Torr | ≦7.5×10-3 | ≦7.5×10-3 | ≦1.9×10-2 | ≦6.0×10-2 |
| mbar | ≦1.0×10-2 | ≦1.0×10-2 | ≦2.6×10-2 | ≦8.0×10-2 |
| psi | ≦1.4×10-4 | ≦1.4×10-4 | ≦3.8×10-4 | ≦1.2×10-3 |
| 噪音值 | dB(A) | ≦63 | ≦63 | ≦63 | ≦57 |
| 漏率（排氣口和氣鎮(zhèn)閥關(guān)） | 1×10-5Pa·m3/s |
| *大進/排氣壓力 | MPa | 0.1 /0.13 |
| 工作環(huán)境溫度 | ℃/℉ | 5～40/41～104 |
| *大水分處理能力 | G/h | 60 | 50 |
| 電機 | 輸出功率 | kW/hp | 1.50/2.00 | 0.75/1.00 | 0.55/0.74 | 0.25/0.33 |
| 工作電壓 | VAC | 380/220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 |
| 轉(zhuǎn)速 | rpm | 1410 |
| 進/排氣口尺寸 | mm | KF40/16×2 | KF40/16 | KF25/16 | KF25/16 |
| 重量 | kg | 52 | 36 | 32 | 18 |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 其他 | 帶氣鎮(zhèn)閥 |
