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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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8.5實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)CY-LP

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-11-02 17:41:58瀏覽次數(shù):233次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:104條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:汪紀(jì)彬

產(chǎn)品簡介

簡單介紹: 8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置,直徑8.5英寸x 14英寸長石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對(duì)基體或晶圓片表面的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下,有機(jī)去除率zui高可達(dá)20nm /min左右。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是在外延薄膜沉積前......

詳細(xì)介紹

詳情介紹:

8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)配有一個(gè)直連式雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長具有顯著的作用。

8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

輸入功率

?     AC 220V , 50/60 Hz,

?    射頻功率:80 W Max.(標(biāo)準(zhǔn)) 

?    真空泵:正常550W,啟動(dòng)750W

?    總功率:830W max.

?    工作電流≤3A

射頻功率

?    射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

?    射頻:13,56 MH

?    可選:可根據(jù)要求提供300 W射頻電源,需額外收費(fèi)

等離子室

?  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室

? 體積: 12 L

? 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成

?  2.3"直徑(60mm)石英窗口,便于觀察

? 屏蔽RF輻射,零RF泄漏

控制面板

?  6"彩色觸摸屏,可自動(dòng)控制所有參數(shù),用于等離子清潔,如真空度,氣體流速,RF功率水平和清潔時(shí)間。

? 內(nèi)置一個(gè)通道質(zhì)量流量計(jì)(0-500ml /分鐘),控制氣體流量+/- 0.5 ml / m

真空泵和閥門

? 包含排氣過濾器,KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用

? *終總壓力為50 mTorr

惰性氣體

? 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔,如N2,Ar,空氣和混合氣體,取決于將要處理的材料類型。(不包括在包裝內(nèi))

? 等離子清潔器不得使用

總體尺寸

620 L×600 W×600 H, mm

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無保修)

免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。

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