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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


1200度CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S440

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間：2025-05-12 11:04:54瀏覽次數(shù)：62次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：KJ-T1200CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
    KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
 
技術(shù)參數(shù)：

 
 
產(chǎn)品名稱		 1200度CVD設(shè)備
型號(hào) KJ-T1200
部分：標(biāo)準(zhǔn)件
 
 
 
 
 
 
 
Tube Furnace
 
 		 顯示 7”液晶觸摸屏
溫度 1200℃ 
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率  0~10℃/min 
溫區(qū)長度 440mm
加熱元件 鉬電阻絲
熱電偶 K型
溫度控制精度 ±1℃
爐管 100 x 1000mm (OD x minimum L)
 材質(zhì)：石英管
 
溫度控制 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 不銹鋼真空法蘭。
法蘭的一端有 1 個(gè)帶刺針閥，安裝有機(jī)械壓力表。
 
法蘭的另一端有一個(gè)帶倒鉤針閥的 KF25 端口
 
功率 220V, 50 Hz, 單相. 4KW
真空泵  旋片真空泵 極限真空 10-3 托。
管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。
（RM溫度和空管條件）
流量：2L/S
旋片真空泵將被設(shè)計(jì)成帶輪子的推車。 帶連接附件
包括數(shù)字真空計(jì)
質(zhì)量流量計(jì)
帶液晶觸摸屏控制器
 		 一個(gè)浮子流量計(jì)+五個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)：
MFC 精度為：±1.5% F.S.
MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm
氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm
MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm
氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm
氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm
 
一個(gè)氣體混合罐（僅適用于5 MFC）安裝在底殼上，4個(gè)不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè)，用于手動(dòng)控制4種氣體混合。

 
 

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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