SuperViewW1光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。而其雙重防撞保護(hù)措施能更好的保護(hù)儀器，確保精度的準(zhǔn)確。
（1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
（2）Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測(cè)，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測(cè)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

應(yīng)用

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀輪廓儀傳感器

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中圖儀器光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器SuperViewW1

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