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行業(yè)產(chǎn)品

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新耕（上海）貿(mào)易有限公司


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KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒（缺陷）檢測設(shè)備

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更新時間：2022-10-31 14:53:41瀏覽次數(shù)：349次

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒（缺陷）檢測設(shè)備

詳細介紹

是致力于PECVD / ICPCVD(HDPCVD)的設(shè)備提供商， 產(chǎn)品涵蓋2”~ 8”主流PECVD / ICPCVD(HDPCVD)薄膜生長工藝，廣泛應(yīng)用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產(chǎn)業(yè)及MEMS和Si基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

儀器簡介

◆配置：2”~8” 手動 / 半自動 / 全自動(片盒對片盒) / 全自動多腔(片盒對片盒)
◆領(lǐng)域 :三五族(GaAs / SiC)，GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產(chǎn)業(yè)及MEMS和Si基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等
◆制程 : PECVD / ICPCVD(HDPCVD)

儀器特點

◆ Plasma-Therm公司有將近40年研發(fā)及制造PECVD相關(guān)設(shè)備的歷史
◆ Plasma-Therm設(shè)備具有高穩(wěn)定性與高可靠度
◆ Plasma-Therm自有的軟硬件設(shè)計及完善QC系統(tǒng)
◆ Plasma-Therm設(shè)備配置靈活，包含手動、半自動、全自動(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發(fā)及量產(chǎn)客戶需求
◆ Plasma-Therm設(shè)備在化合物半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)高占有率：目前世界范圍內(nèi)裝機數(shù)量超過2000臺
◆ Plasma-Therm PECVD / ICPCVD設(shè)備技術(shù)特性：
l 薄膜生長速率可調(diào)；
l 的應(yīng)力控制方法（低損傷應(yīng)力控制）
l 啟輝功率低至8W，采用plasma發(fā)出的輝光作為斷點監(jiān)控系統(tǒng)的光源，薄膜厚度實時監(jiān)控
l 的片內(nèi)厚度均勻性 < 1.5%
l 的批次間厚度均勻性 < 1.5%
◆Plasma-Therm連續(xù)15年被VLSI評為10 Best設(shè)備供應(yīng)商

應(yīng)用領(lǐng)域

◆ 三五族(GaAs / SiC，GaN功率及射頻器件，InP器件等)
◆ MEMS微機電
◆ Si基半導(dǎo)體
◆ 石英基底的光通訊器件

關(guān)鍵詞：監(jiān)控系統(tǒng)
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