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行業(yè)產(chǎn)品

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新耕(上海)貿(mào)易有限公司


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KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷檢測(cè)設(shè)備

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:10條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷檢測(cè)設(shè)備

詳細(xì)介紹

主要產(chǎn)品與服務(wù)

◆綜合解決方案:EFEM、Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)、Codex、Sorter、Storker、450mm Wafer Handling System
工具自動(dòng)化:大氣機(jī)器人、真空機(jī)器人、裝載埠模塊(FOUP和OCA)、對(duì)準(zhǔn)和標(biāo)定末端執(zhí)行器;
軟件解決方案:Genmark集成框架和技術(shù)(GIFT™)是用于快速開發(fā)設(shè)備自動(dòng)化應(yīng)用的一套軟件組件,工具和技術(shù)。支持Windows NT,2000,XP;SEMI標(biāo)準(zhǔn): E4, E5, E30, E37, E40, E42, E58, E84, E87, E90, E94, E95, E98, E99, E109, E116, E118
工程服務(wù):協(xié)助OEM客戶,定制材料輸送解決方案的設(shè)計(jì)與實(shí)施。
運(yùn)動(dòng)控制:控制多功能機(jī)器人結(jié)構(gòu),包括“偏轉(zhuǎn)”,“節(jié)距”和“滾動(dòng)”的運(yùn)動(dòng)功能;多個(gè)軸的同步;末端執(zhí)行器框架的傾斜功能;緊急停止,等其他功能。
◆售后服務(wù):Stock Parts、Repair、Refurbishment、Exchange、Site troubleshooting、Local service engineer,etc.

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