GSL-1100X-III-D11 大面積雙管石墨烯生長爐

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更新時間：2022-12-12 14:35:44瀏覽次數(shù)：486次

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深圳市科晶智達科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-III-D11是一款三溫區(qū)的大型雙管爐，其溫度可以達到1100℃

詳細介紹

GSL-1100X-III-D11是一款三溫區(qū)的大型雙管爐，其溫度可以達到1100℃。特殊的雙管設計，是為了通過CVD方法在箔材上大面積生長材料（面積：~7000 cm^2，箔材纏繞在內(nèi)管的外壁上）。一個送管裝置可以將內(nèi)管輕易送入外管內(nèi)部和從外管中取出。此款設備特別適合大面積生長石墨烯和柔性電極材料。

性能指標和基本配置
產(chǎn)品特點	● 雙管設計：外管直徑Φ280mm，內(nèi)管直徑Φ254mm，箔材可以纏繞在內(nèi)管外壁上，然后進行CVD生長 ● 手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管 ● 900mm長的恒溫區(qū)可提供7000cm^2的管狀生長區(qū)域
加熱區(qū)&溫度控制	● 三個加熱區(qū)：（總加熱區(qū)長度：1230mm）溫區(qū)1: 410mm (16") 溫區(qū)2: 410mm (16") 溫區(qū)3: 410 mm (16") ● 三個溫區(qū)都采用PID方式控制溫度，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃ ● 熱電偶：Omega K型鎧裝熱電偶
工作溫度	● 工作溫度：1100℃（小于1小時） ● 連續(xù)工作溫度：1000℃
升溫速率	● 10℃/min (RT~800℃) ● 5℃/min (800~1100℃)
輸入電源	● AC 380VAC三相, 50/60 Hz ● 功率24 KW
爐管	● 兩根高純石英管外管尺寸： 280mm O.D. x 270 mm I.D. x 2070 mm L 內(nèi)管尺寸：254mm O.D. x 244 mm I.D. x 2310 mm L
真空密封法蘭	● 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 ● 右端法蘭采用KF25接口用于連接真空泵 ● 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應氣體 ● 一個機械壓力表安裝在左端法蘭上 ● 兩端法蘭上都安裝有石英管堵，可保證管式爐的恒溫區(qū) ● 真空度: 10^-2 torr（采用機械泵）; 10^-4 torr （采用分子泵）
送管器	手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管
儀器尺寸	5400L x 770W x 1500H mm（包含送管器）
重量	600 kg
可選	● 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔（150m m L x 150mm w x 25um t） ● 可在本公司選購輥壓機，對石墨烯進行干法轉(zhuǎn)移 ● 可選購小型氣液混合器，進行CVD生長
應用注意事項	● 爐管為高純石英爐管，設計只能在真空或常壓環(huán)境下使用，所以爐管內(nèi)部氣壓需＜0.02MPa。 ● 若要向爐管內(nèi)通入氣體，所用氣瓶上必須安裝減壓閥，可在本公司購買減壓閥。 ● 當設備使用溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài)如要大量通入可燃性氣體，如H2或CH4，請與本公司聯(lián)系，為保證安全建議在通風柜中操作，房間內(nèi)安裝H2和CH4探測器。
質(zhì)量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證CE認證/若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務承諾書。