當前位置：西安奧信自動化儀表有限責任公司>>微小氣體流量計>>高精度氣體流量計熱式質(zhì)量流量計 AX10FD氮氣流量計

高精度氣體流量計熱式質(zhì)量流量計 AX10FD氮氣流量計

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-01-13 14:30:17瀏覽次數(shù)：254次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  微小氣體流量計

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

西安奧信自動化儀表有限責任公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：531條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

高精度氣體流量計熱式質(zhì)量流量計AX10FD氮氣流量計用途與特點質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制

詳細介紹

高精度氣體流量計熱式質(zhì)量流量計 AX10FD氮氣流量計
用途與特點
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標
量程范圍（20,30,50,100,200,300,500）SCCM    （0~1,2,3,5,10）SLM
準確度   +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復精度 +0.2%F.S
響應時間 10sec      氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環(huán)境溫度 0~70℃
數(shù)字量 RS485 MODBUS 協(xié)議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質(zhì) 316L 不銹鋼
密封材質(zhì)   氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標準毫升/分);SLM(標準升/分)
高精度氣體流量計熱式質(zhì)量流量計 AX10FD氮氣流量計