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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽科晶自動化設備有限公司


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多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏) 水冷系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-07-30 09:57:23瀏覽次數(shù):282次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:979條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

 

產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

 

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45ºC  
壓力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
線性: ±0.5-1.5%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
-九路可按照客戶要求定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

  

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

  

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管


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