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PCE-6小型等離子清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-01-02 12:49:30瀏覽次數(shù):670次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:979條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

PCE-6小型等離子清洗機

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。

 

產(chǎn)品名稱

PCE-6小型等離子清洗機

產(chǎn)品型號

PCE-6

主要特點

1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

   

3、設(shè)有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。

4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220V  50/60Hz

2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率:<500W

4、總功率:<600W

5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)

6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設(shè)有Ø45mm察窗

7、真空泵:240L/min,直連式雙旋真空泵

8、極限真空度:50mtorr

9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×300mm,重量:10.2kg

可選配件

1、2"-6"石英舟(盛放基片)

2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

關(guān)鍵詞:等離子清洗機 真空泵
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