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住友臭氧發(fā)生器儀器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號GRF Series

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

聯(lián)系方式:馬利軍查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-06-25 12:50:29瀏覽次數(shù):135次

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經營模式:其他

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所在地區(qū):

聯(lián)系人:馬利軍

產品簡介

住友臭氧發(fā)生器儀器住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發(fā)生器儀器

詳細介紹

住友臭氧發(fā)生器儀器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生器儀器



應用:

1. 半導體器件

2. Si/復合晶圓

3. FDPLTPSHTPS、TFT、彩色濾光片、OLED

4. 光罩

5. 發(fā)光二極管


具體規(guī)格

臭氧氣體流速

1L/min to 24L/min
[at 210g/m3(N)]

臭氧氣體供應壓力

*大0.15MPa

冷卻水溫度

20°C±2°C

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30 to 45kg

功率

200-220VAC, 3-phase


住友臭氧發(fā)生器儀器優(yōu)勢:

高濃度;高達400g/m3N),不含氮摻雜

19英寸機架尺寸標準型號

豐富的產品線;小容量到大容量

高壓耐受,長壽命放電單元

快速啟動,快速響應

與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度

CE、NRTL、半標準適用

管道材料;從316LSSP中選擇



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