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Cube 電容式膜片真空計(jì)

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Cube 電容式膜片真空計(jì)Cube™ CDGsci INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的(≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50 ppm FS 再現(xiàn)性) 和的真空計(jì) (是設(shè)計(jì)作為純參考設(shè)備用于標(biāo)準(zhǔn)化真空測(cè)量系統(tǒng), 它是真空科研應(yīng)用的選擇. 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是 Cube出色性能的核心. Cube 通過(guò)無(wú)線或有線以太網(wǎng)......

詳細(xì)介紹

Cube™ CDGsci

INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的(≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50
ppm FS 再現(xiàn)性) 和的真空計(jì) (< 5 ppm FS/°C 溫度穩(wěn)定性; < 70 ppm FS/長(zhǎng)期穩(wěn)定性). Cube
是設(shè)計(jì)作為純參考設(shè)備用于標(biāo)準(zhǔn)化真空測(cè)量系統(tǒng), 它是真空科研應(yīng)用的選擇. 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是
Cube出色性能的核心. Cube 通過(guò)無(wú)線或有線以太網(wǎng)接口連接的 20 比特模擬輸出和 RS232-C, TCP / IP 和 HTML
數(shù)字輸出的方式為現(xiàn)代通訊和用戶靈活性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).
每臺(tái)設(shè)備都有由主要產(chǎn)品研究員簽字的質(zhì)保書(shū)。存放在一個(gè)可重復(fù)使用的有堅(jiān)硬外殼的手提箱交付使用或運(yùn)到校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室以強(qiáng)調(diào)其專業(yè)性。


益處

  • 可靠的高精確壓強(qiáng)測(cè)量 –陶瓷技術(shù)
  • 完整的穩(wěn)定輸出 –由 PTB 驗(yàn)證
  • 靈活的通訊 –各種現(xiàn)代化的接口
  • 所有功能集成化– 無(wú)需控制器
  • 直接裝入真空室 –化的重心
  • 運(yùn)輸無(wú)需隔離閥

典型應(yīng)用

  • 傳遞標(biāo)準(zhǔn)
  • 主要校準(zhǔn)儀
  • 研究
  • 內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)

零件號(hào)

規(guī)格

類型 1000 Torr 100 ... 1 Torr 100mTorr
精度 (1) % of reading 0.025 0.025 0.05
溫度效應(yīng)
零點(diǎn) percent FS/°C 0.0005 0.0005 0.005
滿量程 % of reading / °C 0.001 0.001 0.01
壓力, bar (absolute) 3 2.5 1.5
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05
溫度
運(yùn)行(環(huán)境) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
貯存 °C –10 … +50 –10 … +50 –10 … +50
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時(shí) W ≤15 ≤15 ≤12
運(yùn)行溫度 W ≤10 ≤10 ≤8
輸出信號(hào)(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 100 100 100
保護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
電氣連接 D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn) V (dc)A (dc) ≤30 ≤30 ≤30
滯后 percent FS 1 1 1
診斷端口
協(xié)議 Web pages, REST services, RS232-ASCII Web pages, REST services, RS232-ASCII Web pages, REST services, RS232-ASCII
讀數(shù) pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量
重量 DN 16 ISO KF g 1670 1670 1670
重量 DN 16 CF-R g 1670 1670 1670
重量 8 VCR® g 1670 1670 1670

(1) 在25℃操作溫度下的非線性、滯后和可重復(fù)性在操作2小時(shí)后不丑溫度影響。

(2) 提高 10 … 90% FS

。(3) 僅針對(duì)壓力控制類型

。(4) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵




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