德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測(cè)量?jī)x EddyCus®TF實(shí)驗(yàn)室4040系列專(zhuān)用于上介質(zhì)尺寸的襯底的非接觸單點(diǎn)測(cè)量。靈活適用的臺(tái)式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對(duì)薄層電阻、金屬厚度、光學(xué)透明度或電(非)各向同性進(jìn)行準(zhǔn)確的手動(dòng)測(cè)量。 ......

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德國(guó)SURAGUS EddyCus®TF實(shí)驗(yàn)室4040系列專(zhuān)用于上介質(zhì)尺寸的襯底的非接觸單點(diǎn)測(cè)量。靈活適用的臺(tái)式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對(duì)薄層電阻、金屬厚度、光學(xué)透明度或電(非)各向同性進(jìn)行準(zhǔn)確的手動(dòng)測(cè)量。

德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EddyCus®TF實(shí)驗(yàn)室4040系列專(zhuān)用于上介質(zhì)尺寸的襯底的非接觸單點(diǎn)測(cè)量。

靈活適用的臺(tái)式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對(duì)薄層電阻、金屬厚度、光學(xué)透明度或電(非)各向同性進(jìn)行準(zhǔn)確的手動(dòng)測(cè)量。

常見(jiàn)的應(yīng)用包括測(cè)量薄導(dǎo)電透明和非透明層、晶片或金屬片。

SURAGUS 4040.jpg 　

德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測(cè)量?jī)x可選型號(hào)：

該設(shè)備可以配備不同的傳感器，包括用于電氣特性的渦流傳感器或用于光學(xué)特性的傳感器。設(shè)備平臺(tái)的變體涉及以下選項(xiàng)。

. 薄層電阻 – EddyCus® TF lab 4040SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金屬厚度測(cè)試 – EddyCus® TF lab 4040MT [nm, µm, mm, mil]

. 混合系統(tǒng)：光學(xué)和電氣傳感的組合 – EddyCus® TF lab 4040HS(薄層電阻 + 光學(xué)透射率、反射率和漫透射率)

. 各向異性測(cè)試儀 – EddyCus® TF lab 4040A

. 濕涂層厚度和殘留水分 – EddyCus® TF lab 4040HF

德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)：

. 非接觸式、實(shí)時(shí)、穩(wěn)健

. 準(zhǔn)確且可重復(fù)的測(cè)量

. 高測(cè)量質(zhì)量，不受以下因素影響：

均勻的接觸質(zhì)量

鈍化/封裝

粗糙度

. 對(duì)敏感層無(wú)傷害

. 準(zhǔn)確測(cè)量

傳統(tǒng)導(dǎo)電薄膜

網(wǎng)格和線(xiàn)結(jié)構(gòu)

多層系統(tǒng)

隱藏和封裝的導(dǎo)電層

. 不穿

. 用于系統(tǒng)質(zhì)量保證的軟件指導(dǎo)手動(dòng)映射

. 多種測(cè)量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能

. 節(jié)省空間的智能顯示器集成(用于每個(gè)觸摸屏的測(cè)量和數(shù)據(jù)評(píng)估)

. 使用客戶(hù)程序的軟件開(kāi)發(fā)套件測(cè)試自動(dòng)化;

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儀器參數(shù)Technical data

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德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測(cè)量?jī)x技術(shù)規(guī)格：

技術(shù)：非接觸式渦流(各種傳感器類(lèi)型)

單點(diǎn)測(cè)量

定位區(qū)域：760 mm x 660 (open) mm

推薦的樣品尺寸：10 x 10 mm2 到 400 x 400 mm2(0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸)

參數(shù)：

薄層電阻 0.1 mOhm/sq 至 100 kOhm/sq

金屬層厚度 1 nm 至 2 mm(其他應(yīng)要求提供)

光學(xué)透明度 0.01 – 100 %

電各向異性 0.33 - 3；