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德Neaspec真空太赫茲波段近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡HV-THz-neaSNOM

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德Neaspec真空太赫茲波段近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡HV-THz-neaSNOM，該套系統(tǒng)成功地繼承了德國(guó)neaspec公司THz-neaSNOM的設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)，采用保護(hù)的雙光路設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下太赫茲波段應(yīng)用的樣品測(cè)量。

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德Neaspec真空太赫茲波段近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡HV-THz-neaSNOM

該套系統(tǒng)成功地繼承了德國(guó)neaspec公司THz-neaSNOM的設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)，采用保護(hù)的雙光路設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下太赫茲波段應(yīng)用的樣品測(cè)量。HV-THz-neaSNOM在實(shí)現(xiàn)30nm高空間分辨率的同時(shí)，由于采用0.1-3THz波段的時(shí)域太赫茲光源（THZ-TDS），也可以實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)太赫茲成像和圖譜的同時(shí)測(cè)量。這極大地滿足真空環(huán)境中太赫茲近場(chǎng)光學(xué)研究的需求，可以減少大氣中水對(duì)太赫茲波段的吸收影響，能更好地保持樣品的潔凈，為用戶進(jìn)一步集成真空設(shè)備提供了基礎(chǔ)。

太赫茲波有的穿透性，對(duì)不透明物體能完成透視成像，用來(lái)做半導(dǎo)體材料、生物樣品等的檢測(cè)是其應(yīng)用趨勢(shì)之一。該套真空太赫茲波段近場(chǎng)光學(xué)顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM）的集成，將在生物應(yīng)用、半導(dǎo)體元器件和相變材料載流子等研究及領(lǐng)域都有著廣闊的應(yīng)用前景，有望為廣大太赫茲科研工作者提供更多實(shí)際研究工作中的便利和支持。

關(guān)鍵詞：近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡