上海亨東儀器有限公司
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更新時(shí)間：2024-02-18 14:51:15瀏覽次數(shù)：315次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。
可獲得的信息 UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。 UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。 采用新型適配器組件可以實(shí)現(xiàn)臺式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。 UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。
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