D7型λ/1000超高精度激光干涉儀，設(shè)計(jì)緊湊、用戶(hù)界面友好，0.6nm的測(cè)量精度。非常好地測(cè)量高精密光學(xué)系統(tǒng)、復(fù)雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技術(shù)的面形特征和缺陷。這對(duì)于建造精密的衛(wèi)星相機(jī)、高分辨望遠(yuǎn)鏡、強(qiáng)大的微芯片，乃至超快計(jì)算機(jī)都是的重要手段。 主要特點(diǎn)： • D7型激光干涉儀提供0.6nm的測(cè)試準(zhǔn)確度和的重復(fù)性(世界紀(jì)錄) • RMS重復(fù)性：< 0.06 nm (λ/10500) • 檢測(cè)球面、平面、非球面及自由形體 • 測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的透射波陣面 • 曲率半徑測(cè)量 • 數(shù)據(jù)獲取：相移干涉測(cè)量法(PSI) • 尺寸：490mm x 300mm x 260mm • D7型激光干涉儀：緊湊、可靠、使用方便 • 測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)便，只需三個(gè)步驟： 1. 把待測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)或部件放在支架上 2. 用軟件界面準(zhǔn)直調(diào)整測(cè)試部件 3. 調(diào)整干涉條紋并按動(dòng)測(cè)量按鈕即可進(jìn)行測(cè)量 優(yōu)點(diǎn)： | 優(yōu)點(diǎn) | 好處 | | 理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>，因而沒(méi)有傳輸誤差 | 1. 省時(shí)：因?yàn)闊o(wú)需改變大量參考 2. 節(jié)省成本：因?yàn)闊o(wú)需購(gòu)買(mǎi)昂貴的參考裝置 | | 比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過(guò)100倍更高的精度 | 節(jié)省時(shí)間和成本：因?yàn)椴恍枰虚g儀器和附加的方法來(lái)提高精度 | | D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗(yàn)更多的表面特征 | 由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節(jié)省了成本 | | 穩(wěn)定性和堅(jiān)固性 | 1. 省時(shí)：因?yàn)榈闹貜?fù)性提供準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)據(jù)，無(wú)需反復(fù)地證明測(cè)試結(jié)果 2. 節(jié)省成本：因?yàn)?font face="Arial">D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件 | | 應(yīng)用范圍寬 | 節(jié)省時(shí)間和成本：由于緊湊和簡(jiǎn)單的設(shè)置，可在實(shí)驗(yàn)室或工廠（現(xiàn)場(chǎng)）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀 | | 沒(méi)有可追溯的誤差 | 由于在測(cè)量非球面和自由形體時(shí)簡(jiǎn)化的設(shè)置，從而節(jié)省時(shí)間和成本 | 主要技術(shù)參數(shù)： | 性能 | | 精度 | ≤0.6 nm (λ/1000) | | RMS波前重復(fù)性 | ≤0.23 nm (λ/2800) | | 數(shù)據(jù)采集時(shí)間 | 10ms | | 光學(xué) | | 系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA) | 0.6 (F數(shù) 0.83) | | 系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA) | 0.55 (F數(shù) 0.91) | | 成像變焦系統(tǒng) | 軟件界面控制4 x光學(xué)變焦 | | 成像 | 具有偽影去除選項(xiàng)的相干（無(wú)散射玻璃） | | CCD相機(jī) | 0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶(hù)要求) | | 高分辨率 | λ/8000 | | 像素深度（數(shù)字化） | 12位 | | 曝光時(shí)間 | 最少40μs | | 傳感器像素分辨 | 500×500，直徑≥50mm | | 聚焦控制 | 電動(dòng)及軟件界面控制 | | 光學(xué)聚焦范圍 | ±2米 | | 激光器 | | 激光類(lèi)型和波長(zhǎng) | 穩(wěn)定的He-Ne激光器，波長(zhǎng)：632.8nm | | 激光功率 | 2mW（更高功率可根據(jù)用戶(hù)的要求提供） | | 偏振 | 可調(diào)節(jié)測(cè)試表面性質(zhì) | | 相干 | ≥100米 | | 系統(tǒng) | | 數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉測(cè)量（PSI）或靜態(tài) | | PSI方法 | PZT電子相移 | | 準(zhǔn)直范圍 | ±2.5度 | | 準(zhǔn)直類(lèi)型 | 雙點(diǎn) | | 準(zhǔn)直十字線 | 計(jì)算機(jī)產(chǎn)生 | *接受定制解決方案 D7型激光干涉儀的應(yīng)用： I. 波前質(zhì)量 • 投影鏡頭 • 望遠(yuǎn)鏡 • 顯微鏡 • 光學(xué)鏡頭 II.表面光學(xué)質(zhì)量 • 球面 • 平面 • 角隅稜鏡 • 非球面 • 自由形體 • 參考光學(xué)系統(tǒng) III.曲率半徑 • 把長(zhǎng)距離傳感器與D7激光干涉儀提供的聚焦精度相結(jié)合，可獲得ppm RoC精度 IV. 成像質(zhì)量 • 在部署之前驗(yàn)證你的光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力 | 會(huì)員1.png)
