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日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2023-05-26 19:15:16瀏覽次數(shù)：422次

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產(chǎn)品簡介

51儀器儀表網(wǎng)()-專業(yè)進口儀器供應(yīng)商！我們提供豐富的儀器儀表種類、有競爭力的產(chǎn)品價格及良好的售后服務(wù)

詳細介紹

51儀器儀表網(wǎng)()-專業(yè)進口儀器供應(yīng)商！我們提供豐富的儀器儀表種類、有競爭力的產(chǎn)品價格及良好的售后服務(wù)。

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。



我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準。

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

型號SEC-(質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質(zhì)量流量計)E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關(guān)閉

標(biāo)準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?99% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?99% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(很小負荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準接頭*2

1/4SWL 類型




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