實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

概要

實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO₂ 和SiN。
適用于等離子體頻譜分析。
生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
終點檢測法的靈活應(yīng)用。
的加工特點。

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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