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原子散亂表面分析儀器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pascal Sputtering system is suitable For Accurate Multi Layer Deposition，Higher Deposition Rate，Excellent Film Thickness Distribution.

詳細(xì)介紹

日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散亂表面分析儀器是應(yīng)用于表面分析 & 元素分析的。

 

·表面結(jié)構(gòu)可視覺直觀評(píng)估

·不受電場(chǎng)和磁場(chǎng)影響in-situ 分析

·單一原子層或結(jié)晶尺度的成長(zhǎng)監(jiān)測(cè)

·薄膜, 超薄膜, 單層薄膜, 石墨烯 …等絕緣, 半導(dǎo)體 & 金屬

·最表面數(shù)層非常靈敏

 

·加熱范圍：                 ~1000 ℃

·能適應(yīng)廣泛的基底材料背景

·不適合高氧氣分壓環(huán)境

·激光加熱：             ~1300 ℃

·的耐高溫能力

·直徑：                    φ10mm

·燈絲加熱：                ~600 ℃

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