技術(shù)參數(shù)：
熱式原理
量程：流量計(jì)5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼
密封材質(zhì)：標(biāo)配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）
泄漏率：不超過(guò)1×10 毫升/秒，氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃
精度：1%FS（包括線性精度）
量程比:100:1
響應(yīng)時(shí)間：1S
重復(fù)性：優(yōu)于0.15%FS
壓力極限：500PSIG
zui大壓降：流量計(jì)：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計(jì)）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設(shè)定點(diǎn)信號(hào)：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%FS/℃
壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%FS/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度：21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力：760Torr
重量：流量計(jì)：440g 控制器：460g
訂貨選型：
請(qǐng)按照下面的選型表進(jìn)行選型，此外，還需提供以下信息：
流量范圍
氣體類型
氣體濕度
工作溫度
工作壓力
環(huán)保在線
