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小流量計

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產(chǎn)品型號HLMFM

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更新時間：2022-11-21 16:40:05瀏覽次數(shù)：180次

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蘇州華陸儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

小流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/氫氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，小流量計主要應用于半導體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫(yī)院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，小流量計口徑*小至1mm，螺紋連接，小流量計的量程比大于100：1，小流量計傳統(tǒng)的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗，小流量計采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀。

詳細介紹

小流量計傳感器采用微機械加工技術(shù)，實現(xiàn)微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理：

感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高，當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點：

·產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠

·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠

·開創(chuàng)零點自校功能，測量更準確

·多種氣體實際標定，全量程補償

·快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理

·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定

·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠

·操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)

·運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

技術(shù)參數(shù)：

·測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

·測量管徑：DN3，4，6，8，10，12 ，18

·流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準確度：±1.5%FS，±2.5%FS

·工作溫度范圍：-25℃-55℃

·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa，3.0MPa

·供電電源：24VDC±10%

·輸出信號：4-20mA，RS485通訊

·環(huán)境溫度：-25℃-55℃

外觀尺寸：

	L	D	H	G
DN3	74	30	127	G1/8
DN6	74	30	127	G1/4
DN8	90	30	127	G3/8
DN10	130	35	127	G1/2

小流量計行業(yè)應用：

小流量計近年來越來越多的被運用到工業(yè)生產(chǎn)中，為提高小流量的測量的準確性帶來了突破性的進展。測量小流量的流量計有玻璃轉(zhuǎn)子流量計和濕式流量計，一般像玻璃轉(zhuǎn)子流量計，如果他的直徑為2.5mm，空氣流量1000ml/min就可以認為是小流量。L/H這個級別的都可以認為是小流量了。能測的很少，玻璃有，質(zhì)量也有，但是精度都在百分比以上。蘇州華陸專業(yè)生產(chǎn)銷售各類：小流量計！
小流量計在曝氣池氧含量的控制中起到關(guān)鍵作用，是控制系統(tǒng)中的眼睛，基于小流量計熱式原理，該流量計不需要溫度、壓力補償，可以輸出4～20mADC流量和溫度信號。在測量到曝氣流量后通過控制系統(tǒng)與需氧量相比較，產(chǎn)生的反饋信號控制調(diào)節(jié)閥的動作，當曝氣量大于所需量閥門開度減?。划斊貧饬啃∮谒枇块y門開度增大，使供氣量達到要求。
HLMFM系列小流量計的高可靠性和重復性，以及現(xiàn)場的免維護性，諸多優(yōu)點使該產(chǎn)品在鼓風曝氣測量系統(tǒng)中發(fā)揮的作用日益明顯。它不但適用在曝氣測量，也同樣適用在污水處理的廢氣回收等工藝，為污水處理提供了重要保證。
小流量計應用于飲料設(shè)備及其它需測量小流量的設(shè)備和行業(yè)，提供**測量小流量（大概范圍35cc/m--2000cc/m)的解決方案，通過提供脈沖信號來計算流量；測量誤差正負1.5%，介質(zhì)為溫度范圍-5℃--+95℃的水和其它可兼容流體，*高壓力可達20bar.
HLMFM系列小流量計是一種采用熱式原理設(shè)計專門測量小流量的專用小流量計，它具有的精度，特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計內(nèi)，在長期連續(xù)工作的條件下也能保持±1.5%的精度和±0.3%的重復性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計，小流量計在工作時不會形成沉淀，所以儀表的工作完成是“潔凈"的。因此，即使是極為苛刻的要求，例如半導體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑，具有的耐腐蝕性，并如有一個極微小的顆粒落下，也會使芯片成為廢品，這些HLMFM系列小流量計都能滿足。該系列小流量計用途十分廣泛：可用于測量、調(diào)節(jié)、分配液體，包括工業(yè)、化學、石油和商用咖啡機等。
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關(guān)鍵詞：小流量計傳感器芯片溫度傳感器控制閥

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