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鄭州科探儀器設備有限公司


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微型探針臺主要應用于傳感器 半導體

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更新時間:2024-04-30 08:25:54瀏覽次數(shù):200次

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產品簡介

微型探針臺主要應用于傳感器 半導體探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

詳細介紹

       微型探針臺主要應用于傳感器 半導體探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

    探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
    該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié),其中X方向調節(jié)范圍:0-13mm,y方向調節(jié)范圍:0-13mm;z方向調節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測




三:主要技術要求微型探針臺主要應用于傳感器 半導體

1. 類型高溫型:室溫~350℃ 低溫型 -190℃:350℃   低溫型:室溫到-190

2. 腔體材質:304不銹鋼

3. 腔體內尺寸:φ90x40mm

4. 腔體上視窗尺寸:Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)

5. 腔體抽氣口:KF16

6. 腔體進氣口:公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7. 腔體出氣口:公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8. 腔體正壓:≤0.05MPa

9. 腔體真空度:機械泵≤5Pa 5分鐘 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘

10. 樣品臺材質:304不銹鋼

11. 樣品臺尺寸:26X26mm

12. 樣品臺-視窗 距離:30mm(可選凹視窗間距15mm

13. 樣品臺測溫傳感器:*PT100鉑電阻

14. 樣品臺溫度:室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

15. 樣品臺測溫誤差:±0.2

16. 樣品臺變溫速率:高溫10℃/min    低溫5℃/min  值

17. 溫度顯示:7寸人機界面

18. 溫控類型:標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫

19. 溫度分辨率:0.1

20. 溫控精度:±0.5

21. 溫度信號輸入類型:PT100熱電阻 (可選 K  S  B型熱電偶)

22. 溫控輸出:直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

23. 輔助功能:溫度數(shù)據采集并導出  實時溫度曲線+歷史溫度曲線

24. 電信號接頭:配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭  香蕉插頭  線長1.2米

25. 電學性能:絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 200V  電流噪聲 10pA

26. 探針數(shù)量:4探針(可定做6探針)

27. 探針材質:鍍金鎢針

28. 探針尖:10μm

29. X軸移動行程:12mm    ±6mm

30. X軸控制精度:≤5μm

31. Y軸移動行程:12mm    ±6mm

32. Y軸控制精度:≤5μm

33. Z軸移動行程:12mm    ±6mm

34. Z軸控制精度:≤5μm

35. 顯微鏡類別:物鏡放大+電子放大

36. 顯微鏡放大倍數(shù):100倍

37. 顯微鏡工作間距:50-150mm

38. 相機分辨率:1080P  60幀

39. 相機信號輸出:HDMI輸出+USB輸出

40. LED可調光源:LED光源

41. 顯示屏:5 屏幕一體機

四:主要配置要求

1.1臺 · KT-0904T-RL微型探針臺一臺

2.1臺 · 觸摸屏溫控箱

3.  1個· 6mm聚四氟管

4.  1根  電源線

5:  2個  6mm金屬內襯

6: 1根  觸摸屏筆

7: 4個  SMA-香蕉插頭

8: 1根  功率輸出線

9:   6米  6mm水冷管

10: 1套  K型上蓋扳手、備用螺絲,內六角

選配: 分子泵真空機組  機械泵






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